- Kesme ve Doğrama Testere
-
Taşlama ve Parlatma Makinesi
- Hassas Taşlama ve Parlatma Makinesi
- Otomatik Basınçlı Taşlama ve Parlatma Makinesi
- Otomatik Metalografik Taşlama ve Parlatma Sistemi
- Titreşimli Parlatma Makinesi
- Taşlama ve Parlatma için Yardımcı Cihaz
- Taşlama ve Polisaj Makinası Aksesuarları
- Taşlama ve Polisaj Makinası Sarf Malzemeleri
- Elektrolitik Parlatma ve Aşındırma Makinesi
- Film Kaplama Makinası
- Eritme Sistemi
- Plazma Temizleyici
- Laboratuvar Değirmeni ve Karıştırıcı
- Laboratuvar Basın
- Test ve Analiz Aletleri
PTL-NMB Nanometre Sınıfı Termostatik Daldırma Kaplama Cihazı Kullanılarak Silikon Waferlar Nasıl Kaplanır?
Modern malzeme araştırmalarında ve yarı iletken üretiminde ince film hazırlama ve kaplama teknolojisi hayati öneme sahiptir. Özellikle nanometre hassasiyetinde ince film kaplama alanında, PTL-NMBnanometre sınıfı termostatik daldırma kaplayıcı, hassas bir ekipman olarak araştırma ve endüstriyel uygulamalarda önemli bir araç haline gelmiştir. Bu makale, PTL-NMB nanometre çekicinin silikon gofretleri kaplamak için nasıl kullanılacağını ayrıntılı olarak tanıtacaktır.
Bu deneyin temel amacı,nanometre sınıfı termostatik daldırma kaplayıcı silikon gofretleri her iki taraftan kaplamak ve silikon gofretlerin yüzeyindeki ince filmlerin birikimini gözlemlemek. Yarı iletken araştırmalarında önemli bir alt tabaka olarak, silikon gofretlerin yüzey kaplamasının kalitesi, sonraki işlem etkisini doğrudan etkiler. Bu nedenle, nanometre çekme kaplayıcı gibi hassas bir şekilde kontrol edilen kaplama yöntemlerinin kullanılması, kaplamayı düzgün ve hassas hale getirebilir.
Deneysel adımlar:
1. Silikon yonga temizliği:
Deney başlamadan önce, silikon gofretin iyice temizlenmesi gerekir. Örnek yüzeyini dış kirleticilerden arındırmak için silikon gofreti deiyonize suya batırın. Ardından, su lekelerini asetonla çıkarın, deiyonize suyla iyice temizleyin ve silikon gofreti 10 dakika boyunca plazma aşındırmak için PCE-6V plazma temizleyicisini kullanın. Aşındırmadan sonra, silikon gofretin havaya 30 dakikadan fazla maruz kalmasından kaçınılmalıdır, aksi takdirde yüzey durumu bozulabilir ve filmin yapışmasını etkileyebilir.
2. Parametre ayarı:
Sıvı malzemeyi 150 ml'lik bir malzeme kabına dökün ve silikon plakayı kaplamaya hazırlamak için numune fikstürüne yerleştirin. Deneyde, silikon plaka önce çözeltiye tamamen daldırılır. Daha sonra, nanometre dereceli termostatik daldırma kaplayıcıda çekme hızı 100 nm/s'ye ve çekme yüksekliği 50 mm'ye ayarlanır. Hesaplamalara göre, tüm çekme işlemi yaklaşık 139 saat sürer.
3. Kaplama işlemi:
Kaplama işlemi sırasında, silikon gofret çekici tarafından kontrol edilir ve çözelti, düzgün bir film oluşturmak için alt tabakanın yüzeyinden kademeli olarak çekilir. Çekicinin çalışma hızı çok ince olduğundan, filmin biriktirme işlemi çok kararlıdır ve silikon gofretin yüzeyine son olarak kaplanan film iyi bir düzgünlüğe ve tutarlılığa sahiptir.
Kullanaraknanometre sınıfı termostatik daldırma kaplayıcı, araştırmacılar silikon gofretin yüzeyini her iki taraftan doğru bir şekilde kaplayabilir ve filmin kalınlığını ve kalitesini kontrol edebilirler. Deneysel sonuçlar, kaplama işlemi sırasında filmin birikiminin düzgün olduğunu ve nanometre düzeyinde hassasiyet gereksinimlerini karşıladığını, bu da onu yarı iletkenler ve nanomalzemeler üzerinde araştırma yapmak için uygun hale getirdiğini göstermektedir.