Sürekli Çok Odacıklı Magnetron Püskürtme Kaplama Sistemi
1. Yeni piyasaya sunduğumuz VTC-600GC-AM magnetron püskürtme kaplama sistemimiz, yüksek düzeyde otomasyon sağlayan frekans modülasyonlu bir motorla çalıştırılmaktadır.
2. Teknik departmanımız tarafından titizlikle tasarlanıp kontrol edilen magnetron püskürtme kaplama sistemi, ekipman operasyonunun kararlılığını büyük ölçüde artırır ve kullanıcı deneyimini önemli ölçüde geliştirir.
3. Magnetron püskürtme kaplama sistemi benzer ürünlere kıyasla daha geniş bir uygulama alanına sahiptir ve kompakt boyutu sayesinde depolama kolaylığı sağlar.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Çin
- 10 iş günü
- 50 set
- bilgi
Magnetron püskürtme kaplama sisteminin tanıtımı:
VTC-600GC-AM püskürtme kaplama makinesi, bir transfer odası ve bir püskürtme kaplama odasından oluşan, yeni geliştirilmiş, yüksek performanslı bir ince film hazırlama ekipmanıdır. Alttaş tutucu, frekans modülasyonlu bir motorla tahrik edilen iki oda arasında ileri geri hareket ederek otomatik senkron çalışma sağlar; ileri geri hareket pozisyonu ve çalışma hızı hassas bir şekilde ayarlanabilir. Püskürtme kaplama makinesinin her iki odası da, işlemin kararlılığını ve tekrarlanabilirliğini sağlamak için hızlı başlangıç noktası sıfırlamayı destekleyen konumlandırma kalibrasyon fonksiyonlarıyla donatılmıştır.
Püskürtme kaplama makinesi, ferroelektrik ince filmler, iletken ince filmler, alaşımlı ince filmler, yarı iletken ince filmler, seramik ince filmler, dielektrik ince filmler, optik ince filmler, oksit ince filmler, sert ince filmler, PTFE ince filmler vb. dahil olmak üzere çeşitli tipte ince filmlerin hazırlanması için uygundur. Püskürtme kaplama makinesi, çoklu hedef yapısıyla donatılabilir ve farklı malzeme sistemlerinin püskürtme kaplama ihtiyaçlarını karşılamak için bir RF güç kaynağı (iletken olmayan hedefler için) ve bir DC güç kaynağı (iletken hedefler için) ile eşleştirilebilir ve bu da onu yaygın olarak uygulanabilir hale getirir.
Geleneksel ekipmanlarla karşılaştırıldığında, VTC-600GC-AM püskürtme kaplama makinesi yalnızca geniş bir uygulama yelpazesi ve güçlü işlevsel genişletilebilirlik sunmakla kalmaz, aynı zamanda kompakt bir yapıya, rahat kullanıma ve küçük bir alana sahiptir. Katı hal elektrolitleri, OLED'ler ve organik/inorganik optoelektronik malzemeler gibi son teknoloji araştırma alanları için özellikle uygun olan, yüksek kaliteli ince film malzemelerinin laboratuvar ortamında hazırlanması için ideal bir sistemdir.
VTC-600GC-AM, istikrarlı ve güvenilir performansı, yüksek homojenlikte püskürtme etkisi ve esnek genişleme kabiliyetleri sayesinde araştırmacılara profesyonel ve verimli bir ince film hazırlama çözümü sunmaktadır.
Magnetron püskürtme kaplama makinesinin temel özellikleri:
• Çift bölmeli yapı: Magnetron püskürtme kaplama makinesi, bir transfer bölmesi ve bir püskürtme bölmesinden oluşur ve hızlı numune transferi ve sürekli kaplama olanağı sağlayarak film hazırlama verimliliğini önemli ölçüde artırır.
• Esnek çoklu hedef konfigürasyonu: Magnetron püskürtme kaplama makinesi, birden fazla hedef tabancasıyla donatılabilir, hem RF hem de DC güç kaynaklarını destekler ve iletken ve iletken olmayan hedefler için uygundur. Hedef tabancaları, proses gereksinimlerine göre serbestçe değiştirilebilir.
• Geniş uygulama yelpazesi: Magnetron püskürtme kaplama makinesi, metaller, oksitler, seramikler, dielektrikler ve optik filmler dahil olmak üzere çeşitli ince film türleri hazırlayabilir ve çok sayıda alanın araştırma ihtiyaçlarını karşılayabilir.
• Kompakt boyut ve basit kullanım: Magnetron püskürtme kaplama makinesinin küçük bir alanı ve makul bir düzeni vardır, bu da onu laboratuvar kullanımı için uygun hale getirir.
• Modüler tasarım: Transfer odası, vakum odası, pompa seti ve güç kaynağı bağımsız olarak yapılandırılabilir, bu da genişlemeyi ve bakımı kolaylaştırır.
• İsteğe bağlı güç kaynağı yapılandırması: Magnetron püskürtme kaplama makinesi, birden fazla hedef tabancasının tek güç kaynağı kontrolünü veya birden fazla güç kaynağının bağımsız kontrolünü destekleyerek farklı film hazırlama süreçlerinin gereksinimlerini karşılar.
Magnetron püskürtme kaplama makinesinin teknik parametreleri:
| Ürün Adı | VTC-600GC-AM Sürekli Çok Odacıklı Magnetron Püskürtme Kaplama Sistemi |
| Ürün Modeli | VTC-600GC-AM |
| Ana Parametreler | 1. Ekipman Yapısı: Masaüstü ön açılır tasarım, arkaya monte edilmiş vakum sistemi düzeni. 2. Ultimate Vakum: 6,0 × 10⁻⁵ Pa. 3. Sızıntı oranı: ≤ 0,5 Pa / 1 saat. 4. Pompalama verimliliği: Atmosferik basınçtan 5,0 × 10⁻³ Pa'ya pompalamak yaklaşık 5 dakika sürer. 5. Vakum pompası düzeneği: Mekanik pompa + moleküler pompa kombinasyonu. 6. Örnek aşama parametreleri: · Boyutlar: φ140 mm; · Sıcaklık aralığı: Oda sıcaklığı ~ 500 ℃ (istek üzerine arttırılabilir); · Sıcaklık kontrol hassasiyeti: ±1 ℃; · Dönme hızı: Ayarlanabilir 5–20 rpm; · Film kalitesini artırmak için opsiyonel bias modülü. 7. Giriş sistemi: Çift kanallı kütle akış ölçer (Ar / N₂). 8. Hedef kurulum açısı: Hedef ile numune aşamasının merkez ekseni arasında 34° açı. 9. Hedef sayısı: Standart konfigürasyon: 3 hedef, 120° aralıklı (daha fazla hedef özelleştirilebilir). 10. Hedef soğutma yöntemi: Su soğutma. 11. Hedef malzeme boyutları: φ2″, kalınlık 0,1–5 mm (kalınlık hedef malzeme türüne göre değişir). |
| Uyumluluk | CE Sertifikalı, UL veya CSA sertifikaları ekstra ücrete tabidir. |
Magnetron püskürtme kaplama sisteminin temel çalışma noktaları:
1. Alt Tabaka Yüzey İşlemi: Kaplamadan önce, alt tabakanın düzgün yapışma ve iyi dayanıklılık sağlamak için uygun yüzey işlemine tabi tutulması gerekir. Yüzey işlem yöntemleri arasında temizleme, dekontaminasyon, parlatma ve aşındırma yer alabilir.
2. Kaplama Seçimi: Bir kaplama seçilirken, kaplamanın fizikokimyasal özellikleri, çözünürlüğü, viskozitesi ve katı madde içeriği dikkate alınmalı ve malzeme gereksinimlerine göre uygun bir kaplama seçilmelidir.
3. Kaplama Kalınlığı Kontrolü: Kaplama kalınlığı, kaplama performansını etkileyen önemli faktörlerden biridir. Kaplama kalınlığının, kaplama işlemi sırasında, genellikle tel çubuk veya sıyırma bıçağının kazıma hızı, kaplama makinesinin film kalınlığı ve kaplama viskozitesi kontrol edilerek kontrol edilmesi gerekir.
4. Kaplama Homojenliği Kontrolü: Kaplama homojenliği, kaplama performansı üzerinde de önemli bir etkiye sahiptir. Kaplama işlemi sırasında, kaplamanın homojen dağılımını sağlamak ve kaplama yüzeyinde belirgin kusur ve kabarcıkların olmadığından emin olmak gerekir.
5. Kaplama Makinesi Parametre Ayarları: Kaplama makinesinin parametre ayarları da çok önemlidir. Kaplamanın kalitesini ve performansını garantilemek için, kaplama makinesinin sıcaklığı, hızı, vakum seviyesi ve diğer parametrelerinin farklı kaplamalara ve alt tabaka türlerine göre uygun şekilde ayarlanması gerekir.
6. Güvenli Kullanım: Kaplama makinesini çalıştırırken, özellikle bazı malzemeler toksik olduğundan, güvenlik önlemleri alınmalıdır. Personele ve çevreye zarar vermemek için koruyucu gözlük, eldiven ve solunum cihazı kullanılması önerilir.
Hizmetlerimiz Hakkında:
Uzun yıllardır laboratuvar ekipmanlarının araştırma ve tasarımına odaklanmış olup, üstün teknoloji ve zengin deneyime sahibiz. Düz yataklı kaplama makineleri konusunda da uzun yıllara dayanan Ar-Ge deneyimimiz var ve ekipmanlarımız hassasiyet, stabilite ve verimlilik açısından önemli avantajlara sahip.
