Perovskit Güneş Hücreleri için Yüksek Vakumlu Sprey Piroliz Kaplama

a. Üç fazlı beş telli sistem. Beş telli: 380 VAC (+/-5%), 50Hz, üç canlı tel, bir topraklama teli ve bir nötr tel. Maksimum güç 8KW, maksimum akım 32A.

b. Ayrıca bağımsız bir kabuk topraklama teline ihtiyaç vardır.

2. Su:

Akış hızı 15-20 litre/dakika, 15 ila 25 santigrat derece, su giriş ve çıkış basınç farkı 1 ila 2 kg, su giriş basıncı 2~3 kg, ekipmanın su giriş ve çıkışının dış çapı 12 mm'dir (daha iyi bir kauçuk su borusu kullanılması önerilir); ekipmanın su girişinin önüne bir küresel vana takılması önerilir, böylece su basıncı ve su akışı kolayca ayarlanabilir.

3. Gaz:

a. Basınçlı hava: kuru, temiz, susuz, yağsız basınçlı hava, 8 mm plastik hava borusu, basınç 5.5-6

kg (0,55-0,6 MPA).

b. Sıradan azot: ekipman haznesindeki vakumu kırmak için kullanılan kuru azot. 8 mm plastik hava borusu, basınç 1-2 kg (0,1-0,2 MPA).

1. Vakuma özel 304 paslanmaz çelik hazne, iç elektro-parlatma, vakum haznesi çapı yaklaşık 400 mm genişliğinde, 400 mm derinliğinde ve 450 mm yüksekliğindedir, dikey ön ve arka kapı yapısı vardır.

2. Ön kapı rayı, daha koordineli bir görünüm ve manuel kilitleme ile ithal çift ray tasarımını benimser. Arka kapı, sıkılması ve kapatılması kolay olan manuel bir menteşe yapısını benimser; sistem, kolay sökme ve takma için çok parçalı bir yapıya sahip paslanmaz çelik bir astar sağlar. Vakum haznesinin iç ve dış yüzeyleri cilalanmıştır. Hazne, aydınlatma ve film kalınlığı göstergeleri gibi ekipman arayüzleriyle donatılmıştır;

3. Vakum odasının sol tarafı ana vanaya ve moleküler pompaya ve vakum ölçüm arayüzüne bağlıdır. Üst kısım, dönen su soğutmalı bir numune aşaması, bir numune aşaması deflektörü ve bir film kalınlığı ölçüm probu arayüzü ile donatılmıştır; alt plaka, 2 set metal buharlaştırma elektrodu, 4 set organik kaynak ve 2 film kalınlığı ölçüm probu kurulum portu ile donatılmıştır;

4. Cam gözlem pencereli ön ve arka kapılar: Vakum odasının ön kapısında, anti-kirlenme önleyici camla donatılmış, 1 adet 4 inç çapında, bölmeli gözlem penceresi; arka kapıda, anti-kirlenme önleyici camla donatılmış, sırasıyla kaynağı ve numuneyi gözlemleyen 2 adet küçük gözlem penceresi.

II. Buharlaştırma kaynağı: Hem metal buharlaştırma kaynağı hem de metal olmayan buharlaştırma kaynağı ile donatılmıştır

III. Tam alarm sistemi: su kıtlığı ve düşük voltaj algılama ve koruma, faz sırası algılama ve koruma, sıcaklık algılama ve koruma, vakum sistemi algılama ve koruma. Su kıtlığı, aşırı akım, aşırı voltaj ve pompaların ve elektrotların devre kesilmesi gibi anormal durumlar için alarm ve ilgili koruma önlemlerini uygulayın; tam mantık programı kilitleme koruma sistemi.

IV. Kontrol yöntemi:

Panasonic PLC+dokunmatik ekran manuel otomatik kontrol; oran ve son kalınlık girilebilir, PID ayarı buharlaştırma güç çıkışını otomatik olarak kontrol eder. Kontrol içeriği: mekanik pompa, moleküler pompa, pnömatik, elektromanyetik valf, vakum ölçer, vb.; otomatik vakumlama, otomatik kaplama, otomatik egzoz, vb.;

Tam kilitleme koruması (donanım, yazılım kilitleme), manuel ve otomatik modlarda, ekipman personel ve ekipmanın güvenliğini sağlamak için tam kilitleme koruması altındadır. Ayrıca, sistem bir su akışı algılama alarm cihazı ile donatılmıştır.

V. Yapısal Özellikler: Sistem kolay hareket ettirilebilmesi için üniversal tekerleklere ve ayaklara sahiptir. (Şekilde görüldüğü gibi)

BİZ. Detaylar:

Mekanik pompanın önüne bir moleküler elek yerleştirilir ve hava çıkışına filtreler ve panjurlar gibi koruyucu parçalar yerleştirilir. Gaz yolu tozdan kaçınacak şekilde tasarlanmıştır. Organik kaynak bağımsız olarak içeriye yerleştirilir.

Sistemin uzun vadeli kararlılığını sağlamak için tüm numune aşamaları, kaynak bölmeleri ve numune aşaması dönüşleri manyetik sıvı ile kapatılmıştır.

Röleler, terminal blokları, su ve gaz boru bağlantıları, solenoid vanalar ve diğer küçük komponentlerin hepsi yüksek kaliteli orijinal ürünlerdir.

1. Vakum sistemi:

Zhongke Keyi gres yağlamalı moleküler pompanın FF-200/1300 kalibresi, pompalama hızı: 1300 L/S + Feiyue VRD-16 mekanik pompa vakum sistemi, 8 inç pnömatik flapper valfi, vakum ölçümü: bir düşük ve bir yüksek vakum göstergesi (atmosferden 3E-9torr'a kadar), düşük vakum ve yüksek vakum ölçümünün otomatik kontrol geçişi. Vakum okumaları proses kontrolü için PLC'ye girilir.

Vakum vanası: Model: 2 set DN40mm flapper vana; 1 set Zhongke Keyi DN200 pnömatik ana vana.

Vakum contası: sökülebilir statik conta floro kauçuk halka ile kapatılmıştır; nadiren sökülen statik conta oksijensiz bakır ile kapatılmıştır.

2. Vakum sınırı:

2.0×10-5Pa'dan daha iyi. Sızıntı oranı: 5×10－8Pa*L/S'den daha iyi (ulusal standart). 12 saat boyunca kapatıldıktan sonra vakum derecesi ≤5Pa'dır.

3. Pompalama hızı: Pompalama süresi: atmosferik basınç ~ 5×10-4Pa 20 dakikadan az

1. Maksimum 150*150mm numune taşıyabilen, pnömatik alt tabaka bariyeri ile donatılmış çekmece tipi yapı.

2. Alt tabaka ile buharlaşma kaynağı arasındaki mesafe elektriksel olarak ayarlanabilir ve elektrikli kaldırma ayarının maksimum mesafesi 60 mm'dir.

3. Numune aşaması su soğutma fonksiyonu ile döndürülebilir: Numune aşamasının dönüş hızı 0 ila 30 rpm arasında sürekli olarak ayarlanabilir.

1. Yüksek vakumlu elektron ışını buharlaştırma kaplama makinesi 2 set tekne tipi buharlaştırma kaynağı ile donatılmıştır. Metal kaynak su soğutmalı bakır elektrot + buharlaştırma teknesi yapısı (maksimum sıcaklık 1500 derece) kullanır. Yüksek vakumlu elektron ışını buharlaştırma kaplama makinesi 2,4 kW buharlaştırma güç kaynağı ile donatılmıştır. Buharlaştırma kaynağı güç kaynağının iki sürüş modu vardır: Sabit akım ve sabit voltaj, bunlar değiştirilebilir. Buharlaştırma güç kaynağı yazılım veya manuel olarak kontrol edilebilir. Buharlaştırma güç kaynağı ayrıca film kalınlığı ölçer pid (kapalı devre kontrolü) aracılığıyla buharlaştırma oranını otomatik olarak ayarlayabilir. Dijital ekranlı.

2. Yüksek vakumlu elektron ışınlı buharlaştırma kaplama makinesi, 4 set organik buharlaştırma ışınlı kaynak fırını, 4 organik buharlaştırma güç kaynağı, sıcaklık görüntüleme fonksiyonlu organik buharlaştırma kaynakları ve organik ışınlı kaynak fırınları Japon iletken sıcaklık kontrolörleri kullanır. 4 set pota ile donatılmıştır, ısıtma sıcaklığı: 0-700 santigrat derece; ayarlanabilir açı aralığı: 0-15 derece,

1. Güç kaynağı: DC 5V (±10%), maksimum akım 400mA.

2. Frekans çözünürlüğü: ±0,03Hz.

3. Film kalınlığı çözünürlüğü: 0,0136Å (alüminyum).

4. Film kalınlığı doğruluğu: ±%0,5, özellikle sensör pozisyonu, malzeme gerilimi, sıcaklık ve yoğunluk gibi proses koşullarına bağlıdır.

5. Ölçüm hızı: 100ms-1s/zaman, ayarlanabilir.

6. Ölçüm aralığı: 500000Å (alüminyum).

Soğutucu