Yarıiletken Fotolitografi İşleminde Spin Kaplamanın Uygulanması

Yarı iletken fotolitografi işlemi temiz bir odada gerçekleştirilmelidir ve temiz odanın seviyesi yarı iletken fotolitografi işleminin gereksinimlerini karşılamalıdır. Fotolitografinin amacı, maskenin desenini fotoreziste aktarmak ve ardından fotorezistin desenini aşındırma yoluyla silikon gofretin yüzeyine aktarmaktır.

Fotolitografinin temel süreci:

Tutkal kaplama:Kaplama yaparken VTC-100PA-UV ultraviyole ışığını kullanındirsek döndürmer, silikon gofretin yüzeyindeki fotorezisti eşit şekilde kaplamak için firmamız tarafından üretilmiştir. Film kalınlığı, dönüş hızının karekökü ile ters orantılıdır.

(T1/T2)2=(S2/S1)

Ön pişirme:Kaplamadan sonra, yapıştırıcıdaki çözücüyü çıkarmak için silikon gofreti önceden pişirmek üzere HT-150 hassas tutkal pişirme makinesini kullanın, böylece kolloidin silikon gofretin yüzeyine yapışması iyileştirilir, kolloid filminin anti-mekanik sürtünme yeteneği iyileştirilir ve yüksek hızlı dönüşle oluşan film içindeki stres azaltılır. Genellikle, ön pişirmenin sıcaklık aralığı 90-120℃'dir ve pişirme süresi 60-120 saniye aralığındadır.

Maruziyet:Ön pişirmeden sonra, filmli silikon plaka VTC-100PA-UV ultraviyole içine taşınırspin kaplayıcı Pozlama için. Işık, maskenin içinden silikon gofretin yüzeyindeki fotorezist filme ışınlanır. Işıkla ışınlanan film kimyasal bir reaksiyona girer. Işığa duyarlı alandaki ve ışığa duyarlı olmayan alandaki fotorezist, alkalin çözeltide farklı çözünürlüğe sahiptir, böylece maskenin deseni tamamen silikon gofretin yüzeyine aktarılır. Genel olarak, pozlama için seçilen ultraviyole ışık kaynağı 180~330nm aralığındadır. Dalga boyu ne kadar uzunsa, enerji o kadar büyük ve pozlama süresi o kadar kısadır. Belirli pozlama ışık kaynağı ve süresi farklı işlemlere göre belirlenmelidir.

Gelişim:Genellikle iki geliştirme yöntemi vardır, biri daldırma geliştirme, diğeri döner sprey geliştirmedir. Bu işlem akışında, geliştirme için döner sprey yöntemi kullanılır ve seçilen ekipman VTC-200-4P sprey döner film makinesidir. Atomizasyondan sonra fotorezist filminin yüzeyine belirli bir konsantrasyonda geliştirici püskürtülür, böylece pozlama alanındaki ve pozlama dışı alandaki fotorezistin bir kısmı çözülür, böylece filmdeki gizli görüntü ortaya çıkar. Geliştirmeden sonra kalan fotorezist deseni, sonraki aşındırma işleminde maske olarak kullanılır.

Film sertleştirme:Geliştirmeden sonra, VTC-200-4P spreyinin ısıtılmış üst kapağıdirsek döndürmer, tutkaldaki artık çözücüyü daha fazla buharlaştırmak için filmi tekrar pişirmek için doğrudan kullanılır, böylece tutkaldaki artık çözücü içeriği en aza indirilir ve tutkal filmi sertleştirilir.

Aşındırma: Rezist tarafından maskelenmeyen bölgedeki kolloid, korozyon işlemi ile uzaklaştırılır ve geriye rezist tarafından maskelenen parçanın deseni kalır.

Zamk giderme:VTC-200-4P spreyini kullanmaspin kaplayıcı Islak degumming işlemini kullanmak için, organik çözücü desenin yüzeyindeki fotorezist filme damlatılır, böylece fotorezist film çözülür ve temiz bir desen bırakarak çıkarılır. Kaplama için mevcut kaplama ekipmanı arasında VTC-100PA vakum bulunurspin kaplayıcı, VTC-100PA-Ⅰüst kapak ısıtma vakumuspin kaplayıcı, VTC-100 vakumspin kaplayıcı、VTC-200 vakumspin kaplayıcı, VTC-200PV vakumlu döner kaplama makinesi, VTC-200-4P sprey döner kaplama makinesi ve VTC-100PA-UV ultraviyolespin kaplayıcı. Farklıspin kaplayıcı Belirli işleme göre seçilebilir.

Tutkal pişirme makinesi firmamızın HT-150 hassas tutkal pişirme makinesi ve HT-200 yüksek hassasiyetli program kontrollü tutkal pişirme makinesini kullanabilir. Tutkal pişirme makinelerinin farklı konfigürasyonları ihtiyaçlara göre seçilebilir.

Şirketinspin kaplayıcı küçük boyutludur, kullanımı kolaydır ve isteğe bağlı tüm işlevlere sahiptir. Tüm modellerspin kaplayıcı yüksek hassasiyetli kontrol sistemleri kullanın, ayarlanabilir parametreleri ve veri kaydını destekleyin. Aynı zamanda, bazı ekipmanlar modüler yapılandırmayı destekler. Ayrıca ekipman kurulumu ve devreye alınması, operasyon eğitimi ve teknik destek dahil olmak üzere eksiksiz bir satış sonrası servis sistemi sağlıyoruz.