Vakum Tüplü Fırının Çalışma Prosedürleri

Malzeme araştırma ve geliştirme ile yarı iletken üretimi alanlarındaki B-uç alıcıları için, standartlaştırılmış işletimde ustalaşmakküçük vakum tüplü fırınDeneysel güvenliği, veri tekrarlanabilirliğini ve ekipman ömrünü garanti edebilir. Kompakt tasarımı ve hassas sıcaklık kontrolü sayesinde bu cihaz,küçük vakum tüplü fırınÜniversite laboratuvarları, Ar-Ge merkezleri ve küçük ve orta ölçekli işletmelerde küçük partili yüksek sıcaklık vakum deneyleri için tercih edilen bir çözüm haline gelmiştir. Bu makalede, size tam proses çalışma prosedürlerini tanıtacağım.küçük vakum tüplü fırınEkipmanınızın performansını tam olarak kullanmanıza yardımcı olmak için.

Başlamadan önce üç denetimin tamamlanması gerekirküçük vakum tüplü fırınOlası risklerden kaçınmak için ilk adım, ekipmanın durumunun incelenmesidir. Fırının dış kabuğunun hasar görmediğinden, fırın borusunun çatlamadığından, güç kablosu ve kontrol hattının sıkıca bağlı olduğundan ve vakum sisteminin gevşek veya eski olmadığından emin olmak gerekir. İkinci adım ise hava soğutma sistemini kontrol etmektir. Soğutma fanının görünümününküçük vakum tüplü fırınHasarlı değil ve hava çıkışı tıkalı değil. Güç açıldıktan sonra, fanın normal çalışıp çalışmadığını test edin ve aşırı ısınmayı ve yetersiz ısı dağılımı nedeniyle fırının iç bileşenlerinin hasar görmesini önlemek için fan toz geçirmez ağının temiz olup olmadığını kontrol edin. Son olarak, numunelerin ve aletlerin hazırlanması gerekir. Ekipmanın 150 mm'lik ısıtma bölgesinin uzunluk özellikleri de göz önüne alındığında, uygun küçük bir numune kabı seçmek, numuneleri kaba eşit şekilde yerleştirmek ve ardından numune kabını fırın tüpünün ortasındaki ısıtma bölgesine yavaşça itmek, fırın kapağını kapatmak ve vakum sızdırmazlık yüzeyinin sıkıca oturması için flanş tokasını sıkmak gerekir.

Başlatma aşamasında, vakum önceliği prensibine göre çalışmak gerekir. Önce vakum pompasının güç kaynağını açın ve vakum vanasını yavaşça açın. Vakum derecesi ekipmanın standart değerine ulaştıktan sonra, fırın tüpündeki artık havayı gidermek için 10-15 dakika daha çalışmaya devam edecektir. Ardından sıcaklık kontrol sistemini başlatın ve ısıtma eğrisini ayarlayın. Isıtma hızının 2-10℃/dak olması önerilir. 1800℃'nin kısa süreli tepe sıcaklığı olduğu unutulmamalıdır.küçük vakum tüplü fırınTek seferlik sürekli kullanım 30 dakikayı geçemez. Geleneksel çalışmalar için 800 ila 1750℃ kullanılması önerilir; bu, silikon-molibden çubuk ısıtma elemanının ömrünü uzatabilir.

Isıtma işlemi sırasında, parametre değişikliklerine dinamik olarak dikkat etmeniz gerekir. Hedef sıcaklıktan 30 dakika önce, sıcaklık kontrol ekranı sıcaklık ve vakum göstergesi okumalarını her 5 dakikada bir kaydedin, böylece gerçek sıcaklık ile ayarlanan değer arasındaki sapma ≤±1℃ olsun ve vakum derecesinde anormal bir dalgalanma olmadığından emin olun. Aynı zamanda, hava soğutmalı sistemin durumunu her 10 dakikada bir kontrol etmeli ve yan tarafına dokunmalısınız.küçük vakum tüplü fırınSıcaklığın anormal bir şekilde yükselmediğini ve fanın stabil bir şekilde çalışmaya devam ettiğini doğrulamak için kabuk. Sıcaklık hedef değere ulaştığında, ısı yalıtım aşamasına girer. Bu esnada, vakum pompasının sürekli çalışır durumda tutulması ve aşırı sıcaklık dalgalanmalarının deney sonuçlarını etkilemesini önlemek için ısı yalıtım aşamasında sıcaklık parametrelerinin sık sık ayarlanmasından kaçınılması gerekir. Ayrıca, fırın tüpüne ani hava girişi nedeniyle oksidasyon reaksiyonuna neden olmaması veya ani basınç değişiklikleri nedeniyle fırın tüpünün kırılmaması için yalıtım aşamasında fırın kapağının açılması veya flanş tokasının ayarlanması yasaktır.

Deney bittikten sonra, işleme göre soğutma yapılması gerekir. Öncelikle sıcaklık kontrol sisteminin ısıtma fonksiyonunu kapatın, soğutma sistemini ve vakum pompasını çalışır durumda tutun ve fırın içindeki sıcaklığın 300°C'nin altına düşmesini bekleyin. Ardından vakum pompasını kapatın ve vakum valfini yavaşça açarak inert gaza geçmesini ve basıncı dengelemesini sağlayın. Sıcaklık 100°C'nin altına düştüğünde, numune kabını çıkarmak için fırın kapağı açılabilir. Elbette, takip bakımı göz ardı edilemez. Deney bittikten sonra, alkole batırılmış tozsuz bir bez kullanarak fırın tüpündeki kalan numune artıklarını temizleyin ve ayrıca vakum sızdırmazlık halkasının aşınıp aşınmadığını kontrol edin. Deforme olmuş veya eskimişse, zamanında değiştirilmesi gerekir. Son olarak, tüm ekipmanların güç kaynaklarını kapatın, fan toz geçirmez ağını temizleyin, sıcaklık eğrisini, vakum derecesi değişikliklerini ve bu deneyin ekipman çalışma durumunu kaydedin ve sonraki bakım ve proses optimizasyonu için referans olması amacıyla bir çalışma günlüğü oluşturun.küçük vakum tüplü fırın.