3 Vakumlu Mandrenli Spin Coater (8K rpm, 4" Wafer Maks.)
VTC-100 Vakumlu Spin Kaplayıcı, farklı boyutlarda 3 vakumlu kaplayıcı (standart) ile donatılmıştır ve numunelerin boyutuna göre farklı vakumlu kaplayıcılar ayarlanabilir. VTC-100 vakumlu spin kaplayıcı, çalışma sırasında numuneyi numune plakasına sabitlemek için vakumlu plaka adsorpsiyon yöntemini kullanır. Cihaz, hızı kontrol etmek için iki aşamalı bir program kullanır.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Çin
- 10 iş günü
- 50 set
- bilgi
Ürün Tanıtımı
VTC-100 Vakumlu Spin Kaplayıcı, yarı iletken üretimi, fotolitografi ve yüzey kaplama gibi işlemler için uygundur. Kolay kullanım, kolay temizlik ve kompakt tasarım özellikleriyle, öncelikle üniversite ve araştırma enstitülerinin laboratuvarlarında ince film hazırlama amacıyla kullanılır.
Cihaz, numune sabitleme için vakumlu sıkıştırma yöntemini kullanır ve bu sayede numunelerin kolayca yüklenip boşaltılmasını sağlarken, daha önceki karmaşık operasyonel adımları da azaltır. Standart olarak üç polipropilen vakumlu sıkıştırma aparatı (φ25 mm, φ50 mm ve φ100 mm) ile birlikte gelir ve bu sayede silikon gofretlerin ve farklı boyutlardaki diğer malzemelerin kaplanması için uygundur.
Dahili güç sistemi, motor bölümünü kontrol bölümünden ayırır ve her bölüm bağımsız bir güç kaynağına sahiptir. Hız kontrol sistemi, 1000-8000 rpm aralığında kararlı bir dönüş sağlayan, yüksek parazit direncine sahip bir mikrodenetleyici kullanır. Döner kaplayıcı hızlı bir şekilde çalışmaya başlar ve kararlı hızını koruyarak film kalınlığının homojenliğini ve tutarlılığını sağlar. Ayrıca, kurulum yapısında titreşim sönümleme önlemleri uygulanarak ekipmanın çalışma sırasında daha kararlı olması ve gürültünün azaltılması sağlanır.
Ana Özellikler
1. Hız iki aşamalı bir programla kontrol edilir: tutkal ilk düşük hızlı aşamada enjekte edilir ve tutkal ikinci yüksek hızlı aşamada düzleştirilir.
2. Numune vakum adsorpsiyonu ile sabitlenir, bu sayede kullanımı kolaydır ve numuneyi alıp yerleştirmek kolaydır.
3. Döküm alüminyum yapı, istikrarlı çalışma ve düşük gürültü
4. Motor ve kontrol ünitesinin güç kaynakları bağımsız olarak sağlanır.
5. Hız ayarı yüksek anti-parazit özelliğine sahip tek çipli bilgisayar tarafından kontrol edilir ve hız 1000 ile 8000 rpm aralığında oldukça stabildir.
6. LED dijital ekran, spin kaplama geri sayım görüntüleme fonksiyonu ile
7. Yağsız paralel çubuk vakum pompasının küçük boyut, basit yapı, kolay kullanım, rahat bakım ve çevre kirliliği yaratmama avantajları vardır.
Tteknik Parametreler
Ürün Adı | VTC-100 Vakumlu Döndürme Kaplama Makinesi | |
Ürün Modeli | VTC-100 | |
Kurulum Koşulları | 1. Sıcaklık ve nem: %10-85RH (yoğunlaşma olmadan 25℃'de) Sıcaklık: 0-45℃. 2. Ekipmanın çevresinde güçlü titreşim kaynağı ve aşındırıcı gaz bulunmamaktadır. 3. Suya gerek yoktur 4. Elektrik: Tek faz: AC220V 50Hz 10A. 5. Gaz: Vakum negatif basınç (vakum pompası) egzoz akış hızı 70L/dak'dan az olmamalıdır. 6. Çalışma Tezgahı: 800mm×600mm×100 kg'dan fazla önerilen 700 mm taşıma ağırlığı (katı çimento platform daha iyidir) 7. Havalandırma cihazı: özel bir gereklilik yok | |
Ana parametreler | 1. Güç kaynağı arayüzü: Sigortalı güç soketi: AC220/110V 50/60Hz, sigorta tüpü spesifikasyonu 10A, φ5×20mm'dir 2. Toplam güç: ≤150W 3. Numune tepsisi (vantuz): Polipropilen vakum vantuz Φ25mm φ50mm φ100mm, her birinden bir adet 4. Çalışma modu: Saat yönünün tersine dönüş, iki çalışma aşaması 5. Kaplama hızı: SPD1 hızı: 500-8000 rpm etkili SPD2 hızı: 500-8000 rpm etkili 6. Kaplama süresi: T1 süresi: 1-600 saniye etkili T2 süresi: 1-600 saniye etkili 7. Hız kararlılığı: ±1% 8. Kontrol modu: PCB tek çipli mikrobilgisayar, düğme kontrolü, dijital tüp ekranı | |
9. Ürün Özellikleri: · Boyutlar: 380mm×260mm×330mm · ağırlık: 12kg |
| |
Sstandart Aksesuarlar
HAYIR. | isim | miktar | resim |
1 | Vakumlu Mandren (PP,Ø25mm,Ø50mm,Ø100mm) | Her biri 1 adet | |
2 | Enjektör/Şırınga | 1 adet | |
3 | Yağsız Vakum Pompası | 1 adet |  |
OOpsiyonel Aksesuarlar
HAYIR. | isim | fonksiyonel tip | resim |
1 | Özel Vakum Mandren (PTFE, alüminyum alaşımı) | (isteğe bağlı) | - |
2 | Mikro Boyutlu Mandren | (isteğe bağlı) | |
3 | Filtre (vakum pompası için) | (isteğe bağlı) | - |
4 | Pipet (Çin malı) | (isteğe bağlı) | |
5 | Pipet (ithal) | (isteğe bağlı) | |
6 | Örnek Kelepçe Plakası | (isteğe bağlı) |
|
Garanti
Ömür boyu destekle sınırlı bir yıl (yetersiz depolama koşulları nedeniyle paslanan parçalar hariç)
Lojistik
