3 Püskürtme Kaynaklı ve Torpido Gözlü Plazma Püskürtme Kaplayıcı
Marka Shenyang Kejing
Ürünün menşei Shenyang, Çin
Teslimat süresi 44 iş günü
arz kapasitesi 50 takım
VGB-600-3HD İnce Film Pil Hazırlama Sistemi, torpido gözü içerisinde deneysel işlemler gerçekleştirebilen, tek katmanlı veya çok katmanlı ferroelektrik film, iletken film, alaşımlı film, yarı iletken film, seramik filmler, dielektrik film, optik film, oksit film, sert film, PTFE film vb. Sistem, çeşitli hedef malzemelerin püskürtmeli kaplaması için üç hedef tabancası ve bir RF güç kaynağı ile donatılmıştır. RF güç kaynağı, bir transfer anahtarıyla herhangi bir hedef kafaya bağlanabilir.
Ana Özellikler
1. Sistem, çeşitli hedef malzemelerin püskürtmeli kaplaması için üç hedef tabancası ve bir RF güç kaynağı ile donatılmıştır. RF güç kaynağı bir transfer anahtarıyla herhangi bir hedef kafaya bağlanabilir. (Hedef silah müşteri ihtiyaçlarına göre değiştirilebilir).
2. Çok çeşitli uygulamalarla çeşitli ince filmler hazırlanabilir.
3. Küçük boyutlu ve kullanımı kolay
4. Tüm makinenin modüler tasarımı; Kullanıcıların gerçek ihtiyaçlarına göre ayarlanabilen vakum odası, vakum pompası grubu ve kontrol güç kaynağının ayrı/bölünmüş tip tasarımı. (isteğe bağlı)
5. Güç kaynağı kullanıcının gerçek ihtiyaçlarına göre seçilebilir. Bir güç kaynağı birden fazla hedef silahı kontrol edebilir veya birden fazla güç kaynağı tek bir hedef silahı kontrol edebilir.
6. Deneysel işlem torpido gözünde gerçekleştirilebilir ve kaplama deneyleri için çeşitli kolayca oksitlenen hedefler değiştirilebilir.
TTeknik Parametreler
Ürün adı | VGB-600-3HD İnce Film Pil Hazırlama Sistemi |
ürün modeli | VGB-600-3HD |
Ana Parametreler (Şartname) | Üç kafalı magnetron püskürtme parçası: 1. Güç kaynağı voltajı: 220V 50Hz 2. Toplam güç: 2,5kW 3. Vakum derecesi limiti: E-6mbar (Firmamızın mekanik pompa ekipmanları ile kullanıldığında E-3mbar'a ulaşılabilir) 4. Isıtma sıcaklığı: RT-500°C, doğruluk ±1°C (Sıcaklık gerçek ihtiyaçlara göre artırılabilir.) 5. Hedef silah sayısı: 3 adet 6. Hedef tabancanın soğutma yöntemi: su soğutma 7. Hedef malzemenin boyutu: Ø2″, kalınlık 0,1-5 mm (farklı hedef malzemeler nedeniyle farklı kalınlıklar) 8. Püskürtme güç kaynağı: 300W (RF)/500W (DC) 9. Numune aşaması: Ø140mm 10. Örnek aşamasının hızı: 1 rpm'den 20 rpm'ye kadar ayarlanabilir 11. Çalışma gazı: Ar, N2ve diğer inert gazlar 12. Giriş havası yolu: Kütle akış ölçer 2 hava giriş yolunu kontrol eder, biri 100SCCM, diğeri 200SCCM'dir. Torpido gözü kısmı: 1. Güç kaynağı: tek fazlı AC110V-220V 50Hz/60Hz 2. Kabuk malzemesi: 304 paslanmaz çelik 3. Torpido gözü bölmesi: 1220mm×760mm×900mm 4. Ön hazne: 2 adet ön hazne bulunmaktadır, büyük ön hazne Ø360mm×600mm, küçük ön hazne ise Ø150mm×300mm'dir. 5. Oda ortamı: su içeriği <1ppm (20°C, 1atm), oksijen içeriği <1ppm (20°C, 1atm) 6. Çalışma gazı: N2, Ar, He ve diğer inert gazlar 7. Kontrol gazı: basınçlı hava veya inert gaz 8. İndirgeyici gaz: çalışma gazı ve H karışımı2 (Arıtma sisteminin yalnızca suyu giderme işlevi varsa indirgeyici gaz, çalışma gazıyla aynıdır.) 9. Gaz arıtma sistemi: Alman BASF deoksidasyon malzemesi, Amerikan UOP yüksek verimli su emici malzeme, arıtma sisteminin rejenerasyon sürecinin otomatik kontrolü, otomatik su ve oksijen giderme fonksiyonları, gaz saflığını sürekli olarak koruyabilen (su <1ppm ve oksijen <1ppm seviyesinde) ) uzun vadede 10. Basınç kontrol sistemi: Haznenin hava basıncı PLC dokunmatik ekranı ile otomatik olarak kontrol edilebilir, kontrol doğruluğu ±1Pa'dır ve ayrıca bir ayak pedalı ile manuel olarak kontrol edilebilir. 11. Filtrasyon sistemi: Filtreler giriş ve çıkış uçlarına monte edilmiştir ve filtreleme doğruluğu 0,3μm'dir. 12. Kontrol sistemi: SIEMENS renkli dokunmatik ekran (6 inç), PLC kontrol sistemi, Çince ve İngilizce iki dilli anahtarlamalı * Su probu, 0-1000ppm dokunmatik ekran ve 0,1 ppm doğrulukla Amerikan GE markasını benimser. * Oksijen vericisi, 0-1000ppm dokunmatik ekran ve 0,1 ppm doğrulukla Amerikan AII markasını benimser. * Basınç sensörü, -2500-2500Pa dokunmatik ekran ve ±1Pa doğrulukla Amerikan setra markasını benimser. 13. Vakum pompası: 8.4m3/h-12m pompalama hızına sahip İngiliz EDWARDS markası3/H 14. Eldivenler: Amerikan NORTH markası (bütil sentetik kauçuk) 15. Aydınlatma sistemi: Philips marka (floresan tüp) |
Ürün Boyutu | Üç kafalı magnetron püskürtme parçası: 950mm×460mm×810mm Torpido gözü kısmı: 2300mm×1500mm×1900mm |
Garanti
Ömür boyu destekle sınırlı bir yıl (yetersiz depolama koşulları nedeniyle paslanmış parçalar hariç)
Lojistik
