
- Ev
- >
haber
Yarıiletken Fotolitografi İşleminde Spin Kaplamanın Uygulanması
Zamk giderme: Islak zamk giderme işlemini kullanmak için VTC-200-4P sprey spin kaplayıcıyı kullanarak, organik çözücü desenin yüzeyindeki fotorezist filmin üzerine damlatılır, böylece fotorezist film çözülür ve temizlenir ve temiz bir desen bırakılır. Kaplama için mevcut kaplama ekipmanları arasında VTC-100PA vakumlu spin kaplayıcı, VTC-100PA-Ⅰüst kapak ısıtmalı vakum spin kaplayıcı, VTC-100 vakum spin kaplayıcı, VTC-200 vakum spin kaplayıcı, VTC-200PV vakumlu döner kaplama makinesi, VTC-200-4P sprey döner kaplama makinesi ve VTC-100PA-UV ultraviyole spin kaplayıcı bulunur. Belirli işleme göre farklı spin kaplayıcılar seçilebilir.
2025/06/16
DAHA FAZLA OKU
Son fiyat olsun? En kısa sürede cevap vereceğiz (12 saat içinde)