İç Sayfa

3 Hedefli Plazma Püskürtme Makinesi

1. Bu 3 Döner Hedefli Plazma Püskürtme Kaplayıcı, kompakt bir tasarıma sahiptir, laboratuvar alanından tasarruf sağlar ve masaüstüne yerleştirilmesine olanak tanır.
2. Bu 33 Döner Hedefli Plazma Püskürtme Kaplayıcı, PLC kontrol paneline sahiptir, bu da çalışmayı daha rahat ve sezgisel hale getirir ve deneysel hataları azaltır.
3. 3 Döner Hedefli Plazma Püskürtme Kaplama Cihazımız, yılların deneyimiyle geliştirilmiştir, müşteri ihtiyaçlarını tam olarak karşılar ve üstün sonuçlar sunar.

  • Shenyang Kejing
  • Shenyang, Çin
  • 10 iş günü
  • 50 set
  • bilgi

Plazma püskürtme kaplama makinesinin tanıtımı:

VTC-16-3HD 3 hedefli plazma püskürtme ekipmanı, maksimum 5 cm çapındaki alttaşları kaplayabilen, CE sertifikalı kompakt bir plazma ince film püskürtme sistemidir. 3 hedefli plazma püskürtme ekipmanı, dokunmatik ekranlı bir kontrol paneline sahiptir ve üç farklı hedef malzemeyi püskürtebilir. İnce filmler için püskürtme süresi kısaltılabilir; daha kalın filmler için ise püskürtme süresi artırılabilir. VTC-16-D 3 hedefli plazma püskürtme ekipmanı, öncelikle 10 cm'ye kadar üretim alanına sahip ince metal filmler üretmek için tasarlanmıştır. Kompakt boyutu ve yüksek maliyet etkinliği, onu çeşitli metal ince filmler için ideal bir kaplama sistemi haline getirir.

3 Rotary Target Plasma Sputtering Coater

Plazma püskürtme kaplama makinesinin temel özellikleri:

1. 3 hedefli plazma püskürtme ekipmanı, PLC kontrol paneli, 4.3 inç dokunmatik ekran ve PID sıcaklık kontrolü ile donatılmıştır. 

2. Plazma püskürtme kaplama makinesinin kontrol edilebilir parametreleri arasında vakum seviyesi, akım, hedef konumu ve alt tabaka ısıtma sıcaklığı yer alır.

3. Plazma püskürtme kaplama makinesi vakum pompası ve KFD25 paslanmaz çelik körüklü hızlı açılan kelepçelerle kullanılabilir.

4. Plazma püskürtme kaplama makinesi CE sertifikalıdır.


Plazma püskürtme kaplama makinesinin teknik parametreleri:

Ürün AdıVTC-16-3HD 3 hedefli plazma püskürtme ekipmanı
ModelVTC-16-3HD 3
Ana Parametreler

1. 3 Döner Hedefli Plazma Püskürtme Kaplayıcının Giriş Gücü: AC 220V 50/60Hz

2. 3 Döner Hedefli Plazma Püskürtme Kaplayıcının Püskürtme Akımı: 0-40mA, Ayarlanabilir

3. Güç: <1kW

4. Çıkış Voltajı: Maksimum 1680V DC

Püskürtme Odası

1. Malzeme: Kuvars haznesi

2. Boyutlar: Dış Çap 166 mm × İç Çap 150 mm × 150 mm

3. Sızdırmazlık: O-ring contası

4. Hedefin ön püskürtme işlemi için flanş kapağına elle çalıştırılabilen bir deflektör takılmıştır. φ 6,35 mm'lik bir sıkıştırma bağlantısı, giriş borusuna bağlantı için hava giriş portu görevi görür. Kuvars haznesine hava enjekte etmek için manuel bir hava tahliye vanası kullanılır.

5. Kuvars haznesinin tamamı, plazmayı korumak için paslanmaz çelikten yapılmış bir ağ ile kaplanmıştır.

plasma sputtering coating machine

6. Kuvars haznesine giren çalışma gazının akış hızı, gövdenin sağ tarafında bulunan mikro hassas kontrol vanası ayarlanarak kontrol edilir, böylece hazne içindeki vakum seviyesi ayarlanır.

7. Püskürtme akımı, gövdenin sağ tarafındaki potansiyometre ayarlanarak kontrol edilir.

3-target plasma sputtering equipment3 Rotary Target Plasma Sputtering Coater

Hedef

1. Üç adet bakır hedef standarttır.

2. Hedef boyutları: φ47 x (0,1-3) mm kalınlığında.

3. Firmamızdan satın alabileceğiniz diğer metal hedefler mevcuttur; lütfen ayrıntılar için satış departmanımızla iletişime geçin.

4. Hedefin ön püskürtme işlemi için elle çalıştırılan bir engelleyici yerleştirilmiştir.

Örnek Aşama

1. Numune tablası destek kolonunda numune tablası yüksekliğini ayarlamak için vidalar bulunan 50 mm'lik dönebilen numune tablası.

2. Numune aşaması dönüş açısı: 0/120/240 derece.

3. Hedef ile numune tablası arasındaki mesafe 20 ile 70 mm arasında ayarlanabilir.

4. Numune katı isteğe bağlı olarak maksimum 500°C'ye kadar ısıtılabilir.

plasma sputtering coating machine
Kontrol Paneli

1.4" PLC entegre dokunmatik ekran kontrol paneli vakum, akım ve numune püskürtme süresini kontrol eder.

2. Veri kaydı fonksiyonu, her püskürtme çalışması için vakum, akım ve püskürtme süresi gibi işlem parametrelerini kaydeder ve böylece müşterilerin verilere erişimini kolaylaştırır.

3-target plasma sputtering equipment
Vakum Sistemi (Opsiyonel)

1. Model: VRD-8

2. Pompalama hızı: 2,2 L/s

3. Motor gücü: 370 W

4. Son basınç: 5 × 10-1 Pa (boş).

5. Gerçek basınç: ≤ 5 Pa (soğuk koşullarda 20 dakikalık mekanik pompalama).

3 Rotary Target Plasma Sputtering Coater

6. Daha yüksek vakum derecesi (10-5 toor veya daha iyi) elde etmek istiyorsanız, yerli veya ithal yüksek vakum ünitelerini satın alabilirsiniz.

plasma sputtering coating machine

Özellikler

Boyutlar: 460mm × 400mm × 500mm (U × G × Y)

Ağırlık: Yaklaşık 20kg

3-target plasma sputtering equipment
Talimatlar

1. İstenilen film kalınlığına ulaşmak için birden fazla püskürtme çevrimi gereklidir.

2. Püskürtme işleminden önce püskürtme başlığının, hedefin, numunenin ve numune tablasının temiz olduğundan emin olun.

3. Film ile alt tabaka arasında iyi bir bağ sağlamak için, püskürtme işleminden önce alt tabaka yüzeyini temizleyin. Bu amaçla temizleme ekipmanlarımızı kullanabilirsiniz.

4. Bu ekipman eldivenli kutuda (Ar veya N2 atmosferinde) püskürtme yapmak için kullanılabilir.

Önlemler

1. Oda basıncı 0,02 MPa'yı (bağıl basınç) geçmemelidir.

2. Gaz silindirinin içindeki yüksek basınç nedeniyle, kuvars tüpe gaz verilirken bir basınç düşürücü valf takılmalıdır. Güvenliği sağlamak için 0,02 MPa'nın altındaki bir basınçta çalışmanızı öneririz. Daha fazla hassasiyet ve güvenlik için firmamızdan 0,01 MPa-0,1 MPa aralığında bir basınç düşürücü valf satın almanızı öneririz.

3. Yanıcı, patlayıcı veya zehirli gazların kullanılmasını önermiyoruz. Prosesinizde yanıcı, patlayıcı veya zehirli gazların kullanılması gerekiyorsa, lütfen uygun koruyucu ve patlamaya dayanıklı önlemleri uygulayın. Şirketimiz, yanıcı, patlayıcı veya zehirli gazların kullanımından kaynaklanan herhangi bir sorundan sorumlu değildir.

UyumlulukCE Sertifikalı, UL veya CSA sertifikaları ekstra ücrete tabidir.


Hakkımızda:

Aynı zamanda ürün yelpazemiz laboratuvar ekipmanları, Kesme ve Kesme Testeresi, Taşlama ve Parlatma Makinesi, Eritme Sistemi, Laboratuvar Fırını vb. gibi birçok alanı kapsamaktadır. Farklı araştırma yönleriniz için projenize yardımcı olmak ve projenin gerçek performansını ve doğruluğunu artırmak için ilgili ekipmanlara sahibiz.


Ayrıca, özelleştirilmiş hizmetlerimiz de mevcuttur. Her deneydeki değişkenler nedeniyle, durumunuza göre ek tasarımlar veya önerilerde bulunabiliriz. Ayrıntılı bilgi için lütfen ekibimizle iletişime geçin.


3 Rotary Target Plasma Sputtering Coater

Son fiyat olsun? En kısa sürede cevap vereceğiz (12 saat içinde)
This field is required
This field is required
Required and valid email address
This field is required
This field is required
For a better browsing experience, we recommend that you use Chrome, Firefox, Safari and Edge browsers.