Küçük DC Magnetron Plazma Püskürtme Makinesi

1. Küçük magnetron plazma püskürtme cihazının giriş gücü: 220V AC 50/60Hz

2. Lab DC Magnetron Püskürtme Kaplama Makinesinin Gücü: <1000W

3. Laboratuvar DC Magnetron Püskürtme Kaplama Makinesinin Çıkış Voltajı: DC 500V

4. Püskürtme Akımı: 0-80mA, ayarlanabilir

5. Püskürtme Süresi: 0-120 saniye, ayarlanabilir

1. Kuvars Odası Boyutları: Dış Çap 166 mm x İç Çap 150 mm x Yükseklik 150 mm

2. Conta: Flor kauçuk O-ring

3. Flanş kapağına, hedefin ön püskürtme işlemi için elle çalıştırılabilen bir kapak monte edilmiştir. 6,35 mm çapındaki bir sıkıştırma bağlantısı, hava giriş borusunu bağlamak için hava giriş portu görevi görür. Kuvars haznesini hava ile doldurmak için manuel bir hava tahliye vanası kullanılır.

4. Kuvars haznesinin tamamı, plazmayı korumak için paslanmaz çelik bir ağ ile kaplanmıştır.

5. Çalışma gazının hazneye akışı, gövdenin sağ tarafında bulunan mikro hassas kontrol vanasının ayarlanmasıyla kontrol edilir, böylece hazne içindeki vakum seviyesi ayarlanır.

6. Püskürtme akımı, gövdenin sağ tarafındaki potansiyometre ayarlanarak kontrol edilir.

1. Su soğutması olmayan 5 cm'lik bir magnetron püskürtme hedef başlığı. Magnetron püskürtme hedef başlığının maksimum çalışma sıcaklığı 80 santigrat derecedir. 80 santigrat derecenin üzerinde, magnetron püskürtme hedef başlığı manyetizma özelliğini kaybedecek ve çalışmaz hale gelecektir.

2. Püskürtme süresi: 1 ila 120 saniye arasında ayarlanabilir

3. Standart bakır hedef dahildir

4. Hedef boyut gereksinimi: φ2" x (0,5-5) mm kalınlık

5. Au, Ag, Cu ve diğer metallerin püskürtülmesi için uygundur (Şirketimizden satın alınabilir).

1. Ayarlanabilir yüksekliğe sahip numune tablası, numune tablası ile hedef arasındaki mesafe 25-70 mm olacak şekilde ayarlanabilir.

2. Örneklem aşaması boyutu: φ2"

3. Opsiyonel numune aşaması ısıtması, maksimum ısıtma sıcaklığı 500°C.

1. Ölçüm aralığı: 1 × 10-4 mbar ila 1000 mbar (1 × 10-4 ila 750 torr)

2. Doğruluk: 1000 mbar ila 20 mbar (okumanın %30'u)

20 ila 0,002 mbar (okumanın %2'si)

3. Tekrarlanabilirlik: 20 ila 0,002 mbar (0,000 ila 0,002 mbar) %2

4. Çalışma nemi: 30°C'de ≤%80, 40°C'de ≤%50, yoğuşma yok;

5. Çalışma sıcaklığı: 5°C-60°C

1. Cihaza hassas kuvars titreşimli film kalınlığı ölçüm cihazı takılarak, 0,10 Å çözünürlükte film kalınlığının gerçek zamanlı izlenmesi sağlanır.

2. LED ekran, film kalınlığı verilerinin hem görüntülenmesini hem de girilmesini sağlar.

1. Model: VRD-8

2. Pompalama hızı: 2,2 L/s

3. Motor gücü: 370 W

4. Son basınç: 5 × 10-1 Pa (boş)

5. Gerçek basınç: ≤ 5 Pa (soğuk koşullarda 20 dakika boyunca mekanik pompalama)

6. Daha yüksek vakum seviyeleri (10-5 ton ve üzeri) için yerli veya ithal yüksek vakum üniteleri mevcuttur.

Boyutlar: 500mm × 350mm × 550mm (U × G × Y)

Ağırlık: Yaklaşık 20 kg (vakum pompası ve su soğutma ekipmanı hariç)

1. İstenilen film kalınlığına ulaşmak için birden fazla püskürtme çevrimi gereklidir.

2. Püskürtme işleminden önce püskürtme başlığının, hedefin, alt tabakanın ve numune tablasının temiz olduğundan emin olun.

3. Film ile alt tabaka arasında iyi bir yapışma sağlamak için püskürtme işleminden önce alt tabaka yüzeyini temizleyin.

Bir yıl garanti ve ömür boyu teknik destek.

Özel Notlar:

1. Isıtma elemanları, kuvars tüpler ve numune kapları gibi sarf malzemeleri garanti kapsamında değildir.

2. Aşındırıcı ve asidik gazların kullanımı sonucu oluşan hasarlar garanti kapsamında değildir.

· Hazne içindeki basınç 0,02 MPa'yı (bağıl basınç) geçmemelidir.

· Gaz tüpünün iç basıncı nispeten yüksek olduğundan, kuvars tüpe gaz verilirken tüpe bir basınç düşürme valfi takılmalıdır. Güvenliği sağlamak için 0,02 MPa'nın altındaki basınçta çalıştırmanızı öneririz. Daha fazla hassasiyet ve güvenlik için firmamızdan 0,01 MPa-0,1 MPa aralığında bir basınç düşürme valfi satın almanızı öneririz.

· Yanıcı, patlayıcı veya zehirli gazların kullanılmasını önermiyoruz. Prosesinizde yanıcı, patlayıcı veya zehirli gazların kullanılması gerekiyorsa, lütfen uygun koruyucu ve patlamaya dayanıklı önlemleri uygulayın. Şirketimiz, yanıcı, patlayıcı veya zehirli gazların kullanımından kaynaklanan sorunlardan sorumlu değildir.