UV Kaplamalı Yüksek Hızlı Döndürme Kaplama Makinesi (10K rpm ve 5

UV Kaplamalı Yüksek Hızlı Döndürme Kaplama Makinesi (10K rpm ve 5" Maks.)

VTC-100PA-UV UV Spin Coater, yarı iletken prosesleri, kristal, optik disk, plaka yapımı ve yüzey kaplama vb. için uygundur. Üst kapak UV ışık kaynağı kullanır ve özellikle kaplanmış filmi hızla katılaştırabilen UV ışığına duyarlı malzemeler için uygundur. Ayrıca, UV lambasının polimerizasyon fonksiyonu da vardır ve monomeri polimer filme dönüştürebilir.

Marka: Shenyang Kejing
Ürünün menşei: Shenyang, Çin
Teslimat süresi: 10 iş günü
arz kapasitesi: 50 set

bilgi

Ürün Tanıtımı

VTC-100PA-UV Spin Kaplayıcı (fotorezist kaplayıcı, spin kaplayıcı veya spin kaplama sistemi olarak da bilinir) yarı iletken üretimi, kristaller, optik diskler, litografi ve yüzey kaplama gibi işlemler için tasarlanmıştır.

Hazne, mükemmel korozyon direnci ve uzun kullanım ömrü sağlayan polipropilenden üretilmiştir ve güçlü asit ve alkali çözeltileri içeren kaplama uygulamaları için uygundur. Üst kapak, UV lamba ışınlama fonksiyonu ile donatılmıştır ve bu sayede özellikle UV'ye duyarlı rezistanslar için uygundur. Kaplamalı rezistansların hızlı kürlenmesini sağlar ve ayrıca monomerleri polimer filmlere dönüştürerek polimerizasyonu destekler.

Üst kapağın ortasında, tıpa ile donatılmış bir sıvı enjeksiyon portu bulunur; kapalı bir hazne ortamı gerektiğinde tıpa takılmalıdır. Haznede ayrıca, spin kaplama işlemi sırasında koruyucu gazın verilmesini sağlayan bir gaz girişi de bulunur.

Numuneler vakum adsorpsiyonu ile sabitlenerek kolay kullanım ve rahat yükleme/boşaltma sağlanır. Özel merkezleme aparatı sayesinde numuneler, aynanın tam ortasına yerleştirilebilir, böylece eksantrik titreşim azaltılır ve gofret kırılması önlenir. Numune boyutuna göre farklı aynalar seçilebilir ve değişimi basit ve pratiktir.

Sistem, hızlı başlatma, sabit hız sağlayan ve kaplama kalınlığının tutarlılığını ve düzgünlüğünü garanti eden hassas fırçasız DC motorla güçlendirilmiştir.

Ana Özellikler

1. Numune, çalıştırılması kolay ve numunelerin alınması ve yerleştirilmesi rahat olan vakum adsorpsiyonu yoluyla sabitlenir ve gerektiği gibi özelleştirilebilir.

2. Üst kapak, gücü belirli bir aralıkta ayarlanabilen UV ışık kaynağını benimser.

3. Enjeksiyon deliği üst kapağın ortasında yer alır ve haznenin sızdırmaz bir ortam gerektirmesi durumunda uygulanan kauçuk tıpa ile donatılmıştır.

4. Haznedeki gaz giriş deliği koruyucu gaza bağlanmak için kullanılır.

5. Motor kısmı ve UV ışık kontrol kısmı bağımsız olarak kontrol edilir. Motor hız kontrol sistemi, tek kartlı bir bilgisayar ve bir LCD ekran tarafından kontrol edilir; sayısal gösterge daha sezgisel ve güvenilirdir. UV ışık, güçlü parazit önleyici özelliğe sahip bir PLC kontrol cihazı tarafından kontrol edilir.

6. Bu makinenin kaplama hızı 500 ila 1000 RPM'dir. 12 grup program saklanabilir, her program grubu 6 çalışma aşaması içerir ve her aşamanın çalışma parametreleri, hızın yavaşça sınıra kadar artmasını sağlamak için bağımsız olarak ayarlanabilir, bu da numune yüzeyinde düzgün bir film oluşturmaya yardımcı olur ve çok fazla israf olmaz.

7. UV vakumlu spin kaplayıcı hızlı bir şekilde çalışmaya başlar ve film kalınlığının düzgünlüğünü ve tutarlılığını sağlayabilen sabit bir dönüş hızına sahiptir.

8. Tesisat yapısında, çalışma esnasında oluşacak gürültüyü azaltacak darbe emici önlemler alınmıştır.

9. Hazne, kimyasal korozyona ve mükemmel stres çatlağına karşı direnç yeteneklerini artırmak için daha uzun hizmet ömrüne sahip PP malzemeden yapılmıştır ve makine gövdesi, dayanıklı ve hafif olan döküm alüminyum yapıyı benimser.

Tteknik Parametreler

Ürün Adı	VTC-100PA-UV UV Döndürme Kaplayıcı
Ürün Modeli	VTC-100PA-UV
Kurulum koşulları	1. Sıcaklık ve nem: %10-85RH (yoğunlaşma olmadan 25℃'de) Sıcaklık: 0-45℃. 2. Ekipmanın çevresinde güçlü titreşim kaynağı ve aşındırıcı gaz bulunmamaktadır. 3. Su: Gerek yok. 4. Elektrik: Tek fazlı: AC220V 50Hz 10A. 5. Gaz: Vakum negatif basınç (vakum pompası) Hava akış hızı en az 70L/dak olmalıdır (cihaz koruyucu inert gaz geçirebilir). 6. Çalışma tezgahı: 800mm×600 olması önerilir.mm×700mm ve 50kg'dan fazla yük taşıyabilir (katı çimento platform daha iyidir). 7. Havalandırma cihazı: Özel bir gereksinim yoktur.
Ana parametreler	1. Güç kaynağı arayüzü: Sigortalı güç soketi: AC220V 50Hz, sigorta tüpü spesifikasyonu 10A, φ5×20mm'dir (bu cihaz AC110V 50/60Hz ürün özelleştirmesini destekler). 2. Toplam güç: ≤180W (harici vakum pompası hariç). 3. Kaplama ana boşluğu (malzeme): polipropilen. 4. Numune tepsisi (vantuz): polipropilen vantuz Φ19mm, her biri Φ60mm. 5. Çalışma modu: 12 set program saklanabilir, her bir program seti 6 çalışma aşaması içerir. 6. Kaplama hızı: 500rpm-10000rpm etkilidir. 7. Hızlanma ve yavaşlama oranı: Her bir hızlanma ve yavaşlama oranının ayar aralığı 100 d/d - 2000 d/d'dir. 8. Kaplama süresi: Her zaman aralığı: 0-60s. 9. Hız kararlılığı: ±1%. 10. Ana bilgisayar kontrol modu: PCB tek çipli mikrobilgisayar anahtar kontrolü LMC LCD ekran. 11. Kürleme yöntemi: 16 adet mor ışıklı LED boncuk. 12. Kürlenme süresi: mor ışık süresi ayar aralığı: 1-800s. 13. Kürleme gücü: mor ışık güç aralığı: 5-30W ayarlanabilir. 14. Kürleme kontrol yöntemi: Dokunmatik ekran (mor ışık sisteminin bağımsız kontrolü, ana bilgisayar kontrolüyle ilişkili değildir).
	15. Ürün Özellikleri · Boyutlar: 450mm×280mm×340mm · Ağırlık: 18kg

Standart aksesuarlar

HAYIR.	İsim	Miktar	Resim bağlantısı
1	Vakum vantuzlu (O-ringli) (Ø19mm ve Ø60mm)	2
2	Merkez bulucu	1
3	Yağsız vakum pompası	1

İsteğe bağlı aksesuarlar

HAYIR.	İsim	İşlevsel kategori	Resim bağlantısı
1	Vakumlu kapların diğer boyutları	(İsteğe bağlı)
2	Ev tipi pipet tabancası	(İsteğe bağlı)
3	İthal pipet	(İsteğe bağlı)