Vakumlanabilir ve Atmosfer Kontrollü Spin Kaplama Makinesi
VTC-200PV Vakumlu Spin Kaplayıcı, yarı iletken prosesleri, kristal, optik disk, plaka yapımı ve yüzey kaplama vb. için uygundur. VTC-200PV vakumlu spin kaplayıcının haznesi, numuneyi tamamen vakum altında kaplamak için vakumlanabilir; bu, havada kolayca oksitlenen ve bozulan film malzemeleri için uygundur. Hazne vakumlandığında numuneyi sabitlemek için bir kelepçe kullanılır. Cihaz 12 program seti saklayabilir ve her set 6 çalışma aşaması içerir.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Çin
- 10 iş günü
- 50 set
- bilgi
Ürün Tanıtımı
VTC-200PV Vakumlu Spin Kaplama Cihazı, yarı iletkenler, kristaller, optik diskler, litografi ve ilgili uygulamalarda yüzey kaplama işlemleri için tasarlanmıştır. Güçlü asit veya güçlü alkali çözeltilerle kaplama hazırlamak için uygundur.
Bu sistem, kaplama haznesini boşaltarak numunelerin tam vakum altında kaplanmasını sağlar. Bu özellik, özellikle havada oksidasyona veya bozulmaya eğilimli ince film malzemeler için uygundur. Vakum işlemi sırasında numuneler, bir numune tutucusu kullanılarak sabitlenir.
Vakumlu tahliye kullanılmadığında, numuneler vakum adsorpsiyonu yoluyla substrat tutucuda tutulur. Sistem, her biri 6 ardışık aşama içeren 12 adede kadar program depolayabilir. Her aşama için farklı dönüş hızları ayarlanabilir ve bu sayede kaplayıcı kademeli olarak maksimum hızına ulaşabilir. Bu sayede numune yüzeyinde homojen ince film oluşumu sağlanırken malzeme israfı en aza indirilir.
Kolay kullanım, rahat temizlik ve kompakt tasarım gibi avantajlarıyla VTC-200PV Vakumlu Spin Kaplayıcı, üniversitelerin ve araştırma enstitülerinin laboratuvarlarında ince film hazırlamada yaygın olarak kullanılmaktadır.
Ana Özellikler
1. Cihaz 12 program setini saklayabilir ve her set 6 çalışma aşaması içerir. Her aşama için hızlanma ve yavaşlama oranı ayar aralığı: 100 dev/dak/sn - 2000 dev/dak/sn, her aşama için zaman aralığı: 0-60 saniye
2. Numune vakum adsorpsiyonu yoluyla sabitlenir ve ayrıca kullanımı kolay olan bağlama veya sıkıştırma yoluyla da sabitlenebilir.
3. Vakum derecesi -0.08MPa'ya kadar ulaşabilir.
4. Konumlandırma aracı kullanılarak numuneler kolayca ortalanabilir ve hizalama hatasından kaynaklanan titreşim veya fırlamalar azaltılabilir.
5. Numune özelliklerine göre farklı mandrenler kullanılabilir ve değişimi kolay ve basittir.
6. 24V fırçasız DC motor benimsenmiştir ve yüksek güvenilirlik, güçlü uyarlanabilirlik, basit onarım ve bakım, düşük gürültü, küçük titreşim, kararlı çalışma, hızlı ve kararlı başlatma, hızlanmadan sonra kararlı çalışma avantajlarına sahiptir, kaplama kalınlığının tutarlılığını ve düzgünlüğünü sağlamak için.
7. Yağsız paralel çubuk vakum pompası, numunenin vakum emilimi yoluyla sabitlenmesi durumunda kullanılır ve küçük boyut, basit yapı, kolay kullanım, rahat bakım ve çevre kirliliği olmaması gibi avantajlara sahiptir.
8. Kaplama işlemi inert gaz atmosferinde (Ar, N2 gibi) yapılabilir.
9. Kaplama vakum altında yapıldığında, numune alt tabakası bağlama veya sıkıştırma yoluyla sabitlenir.
10. Oda, kimyasal korozyona ve mükemmel stres çatlağına karşı direnç yeteneklerini artırmak için daha uzun hizmet ömrüne sahip PP malzemeden yapılmıştır ve makine gövdesi, dayanıklı ve hafif olan döküm alüminyum yapıyı benimser.
11. İngilizce işletim sistemi
12. Açık kapak koruma fonksiyonuna sahiptir. Kaplama işlemi sırasında veya kaplamanın sonunda üst kapak açıldığında, makine aniden ve hızla yavaşlayarak durur.
13. Kontrolör, daha sezgisel ve güvenilir olan LCD sayısal ekranlı bir kontrol kutusu benimser.
Tteknik Parametreler
Ürün Adı | VTC-200PV Vakumlu Döndürme Kaplama Makinesi |
Ürün Modeli | VTC-200PV |
Kurulum Koşulları | 1. Sıcaklık ve nem: %10-85RH (yoğunlaşma olmadan 25℃'de) Sıcaklık: 0-45℃. 2. Ekipmanın çevresinde güçlü bir deprem kaynağı ve aşındırıcı gaz bulunmamaktadır. 3. Su: Ekipman bir kanalizasyon çıkışı ile donatılmıştır 4. Elektrik: Tek fazlı: AC220V 50Hz 10A. 5. Gaz: Vakum negatif basınç (vakum pompası) egzoz akış hızı en az 70L/dak olmalıdır (ekipman koruyucu inert gaz geçirebilir) 6. Tezgah: 1500mm×600 olması önerilir.mm×700mm ve 100kg'dan fazla yük taşıyabilir (katı çimento platform daha iyidir) 7. Havalandırma cihazı: Özel bir gereklilik yok |
Ana Parametreler (Şartname) | 1. Güç Kaynağı Arayüzü: Sigortalı güç soketi: AC220V, 50Hz; Sigorta spesifikasyonu: 10A, φ5×20mm. 2. Toplam Güç: ≤600W (450W bağlantılı yağsız vakum pompası dahil). 3. Ana Hazne (Malzeme): Polipropilen. 4. Alt Tabaka Tutucu (Mandren + Vakumlu Mandren): Standart konfigürasyon: 1 adet mandren tipi alt tabaka tutucu (2″, 3″, 4″ numunelere uyarlanabilir) ve 1 adet Ø100 mm polipropilen vakumlu mandreni. 5. Çalışma Modu: Her biri 6 sıralı aşama içeren 12'ye kadar programı saklar. 6. Sıkma Hızı: 500–6000 rpm (etkili). 7. Kademe Başına Hızlanma/Yavaşlama Oranı: Ayarlanabilir aralık: 100–2000 rpm/s. 8. Aşama Başına Süre: Ayarlanabilir aralık: 0–60 sn. 9. Hız Sabitliği: ±1%. 10. Kontrol Sistemi: Tuş takımı ile çalışan PCB mikrodenetleyici ve LMC LCD ekran. 11. Ürün Ölçüleri ve Ağırlığı: · Ana Ünite: Ø250 mm × 360 mm · Kontrol Kutusu: 330 mm × 380 mm × 150 mm · Ağırlık: 25 kg 12. Destekleyici Ekipman: · Model: AP-1400C/V, ana ünite bağlantılı soket üzerinden güç alır · Voltaj: AC220V, 50/60Hz, 2A, 0,45 kW · Nihai Vakum: –0,0933 MPa · Pompalama Hızı: 150 L/dak · Mekanik Vakum Pompası (kaplama odası tahliyesi için) · Model: VRD-8, bağımsız soket üzerinden çalıştırılır · Voltaj: AC220V, 50Hz, 2,5A, 0,4 kW · Üstün Vakum: 5×10⁻² Pa · Pompalama Hızı: 8 m³/h |
Sstandart Aksesuarlar
HAYIR. | isim | miktar | resim |
1 | Vakumlu Mandren (φ100mm) | 1 adet | |
2 | Kelepçe Plakası 2”, 3”, 4” | 1 adet | |
3 | Merkezi Konumlandırıcı/Konum Belirleyici (4 konumlandırma saplaması dahil) | 1 adet | |
4 | Epoksi Enjektör/Şırınga | 1 adet |
|
5 | Yağsız Vakum Pompası | 1 adet | |
6 | Çift Tıklamalı Döner Kanatlı Vakum Pompası VRD-8 | 1 adet |
OOpsiyonel Aksesuarlar
HAYIR. | isim | fonksiyonel tip | resim |
1 | Diğer özelliklere sahip Vakumlu Mandren | (isteğe bağlı) |
|
2 | Pipet (Çin malı) | (isteğe bağlı) |
|
3 | Pipet (ithal) | (isteğe bağlı) |
|
4 | VRD-16 Mekanik Pompa | (isteğe bağlı) |
|
Garanti
Ömür boyu destekle sınırlı bir yıl (yetersiz depolama koşulları nedeniyle paslanan parçalar hariç)
Lojistik
