Yüksek Vakumlu Magnetron Püskürtme Kaplayıcı
1. Tek kafalı püskürtme kaplayıcının nihai vakumu 8.0X10-5Pa'ya ulaşabilir.
2. Tek kafalı püskürtme kaplayıcı, 1 buharlaştırma ısıtma teknesi, 2 ışın kaynaklı fırın istasyonu (1 ışın kaynaklı fırın standarttır), φ150 cam gözlem penceresine sahip 1 set akış ölçer (bir set argon gazı) ile donatılmıştır.
3. Tek kafalı püskürtme kaplayıcıyı teslim aldıktan sonra, uzaktan rehberlik gibi kapsamlı satış sonrası hizmetleri de sağlayacağız.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Çin
- 10 iş günü
- 50 set
- bilgi
Yüksek vakumlu magnetron püskürtme kaplayıcısının tanıtımı:
VTC-1HD-ZF2 Yüksek vakumlu magnetron püskürtme kaplayıcı, tek hedefli magnetron püskürtme cihazı da dahil olmak üzere çok işlevli bir yüksek vakumlu kaplama ekipmanıdır. Yüksek vakumlu magnetron püskürtme kaplayıcı, tek veya çok katmanlı ferroelektrik filmler, iletken filmler, alaşımlı filmler, yarı iletken filmler, seramik filmler, dielektrik filmler, optik filmler, oksit filmler, sert filmler, politetrafloroetilen filmler vb. hazırlamak için kullanılabilir.
Magnetron plazma püskürtme kaplayıcının avantajları:
1. Magnetron plazma püskürtme kaplayıcı, özellikle oksijene duyarlı metal filmlerin (Ti, Al, Au vb.) buhar biriktirme işlemi için uygun olan bir buhar biriktirme ısıtma teknesiyle donatılmıştır. Magnetron plazma püskürtme kaplayıcının ısıtma teknesinin üzerinde dönebilen bir bölme, 2 ışın kaynağı fırın istasyonu (standart olarak 1 ışın kaynağı fırını) ve φ150 cam gözlem pencereli 1 set akış ölçer (bir set argon gazı) bulunur.
2. Magnetron plazma püskürtme kaplayıcının uygulama kapsamı: perovskit malzemelerin, iki boyutlu malzemelerin, fotovoltaik güneş pillerinin vb. cihaz hazırlanması.
3.3. Tek kafa güç girişli püskürtme kaplayıcı: AC220V/50Hz. Güç <3,5KW.
Magnetron plazma püskürtme kaplayıcısının teknik parametreleri:
| Ürün adı | VTC-1HD-ZF2 Yüksek Vakumlu Magnetron Püskürtme Kaplayıcı | |
| Ürün modeli | VTC-1HD-ZF2 | |
| Ana parametreler | 1. Vakum odası: φ324×330 Ultimate vakum 8.0×10-5Pa (moleküler pompa sistemi) Sızıntı oranı: 2.0×10-10Pa.m3/S Malzeme 304 paslanmaz çelik kaynaklı, elektrokimyasal yüzey parlatma işlemi. Aktif kısım kauçuk conta halkası ile, aktif olmayan kısım ise bakır conta halkası ile kapatılmıştır. Güç aktarımında manyetik kaplin bağlantısı kullanılmaktadır. Vakum odası, manyetik kontrol hedef pozisyonuna, bir dizi buharlaştırma elektroduna (iki) ve 2 ışın kaynağı fırın pozisyonuna (standart 1 ışın kaynağı fırını) sahiptir. φ150 cam gözlem penceresi ve C35 flanş arayüzüne sahip bir set akış ölçer (bir set argon gazı) ayrılmıştır. | |
2. Püskürtme hedef başlığı: 2 inç (φ50,8 mm) Çalışma vakumu: 10Pa~0.2Pa. Hedef malzeme kullanım oranı: >35% (standart 3 mm bakır hedef, hedef yüzey vakumu 0,5 Pa) MAKSİMUM güç: ＜240W (tamamen soğutulmuş) Yalıtım gerilimi: ＞2000V (1 500W DC güç kaynağı ile) | ||
3. Buharlaşma direnci: Buharlaşma çıkış voltajı: AC 0-8V sürekli ayarlanabilir. Buharlaşma akımını 200A ile sınırlayın. Buharlaşma gücünü sınırlayın ＜1.6KW. Sıcaklık kontrol edilemez ve ölçülemez. | ||
4. Işın kaynaklı fırın: Pota kapasitesi: 3CC. Isıtma sıcaklığı: Oda sıcaklığı ile 700°C arası. Isıtma sıcaklığı ölçülebilir, ayarlanabilir ve kontrol edilebilir. Sıcaklık kontrol hassasiyeti: ±0,5°C. Standart olarak deflektörlü ve termokupllu kuvars pota. Güç kaynağı: 500W, 36V. | ||
5. Örnekleme aşaması: φ120. Sıcaklık kontrolü: oda sıcaklığı - 500°C. Hız: 1-20rpm. Numune tablası manuel olarak yükseltilip alçaltılabilir, maksimum 50 mm'lik ayarlanabilir strok mevcuttur. | ||
6. EQ-TM106-1 film kalınlığı ölçer. 1) Güç kaynağı: DC 5V (±10%), maksimum akım 400mA. 2) Frekans çözünürlüğü: ±0,03Hz. 3) Film kalınlığı çözünürlüğü: 0,0136Å (alüminyum). 4) Film kalınlığı doğruluğu: ±%0,5, özellikle sensör pozisyonu, malzeme gerilimi, sıcaklık ve yoğunluk gibi proses koşullarına bağlıdır. 5) Ölçüm hızı: 100ms-1s/zaman, ayarlanabilir. 6) Ölçüm aralığı: 500000Å (alüminyum). 7) Standart sensör kristali: 6MHz. 8) Bilgisayar arayüzü: RS-232/485 seri arayüzü (baud hızı 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400 ayarlanabilir, veri biti: 8, durdurma biti: 1, kontrol: yok) 9) Analog çıkış: 8 bit çözünürlük, PWM darbe genişliği modülasyon çıkışı (açık kollektör veya dahili 5V çıkış) 10) Çalışma ortamı: Sıcaklık 0-50℃, nem %5-85RH, yoğuşma yok. 11) Boyutlar: 90mm×50mm×18mm. | ||
| 7. Cihaz standart olarak bir soğutucu (KJ5000 modeli) ile donatılmıştır. Müşterilerin kendi soğutucularını ve deiyonize veya saf sularını sağlamaları gerekmektedir. | ||
| 8. Tüm makinenin güç girişi: AC220V/50Hz. Güç <3,5KW. | ||
9. Ürün özellikleri: Boyut: yaklaşık 1100mm×650mm×1100mm. Ağırlık: yaklaşık 160 kg. |
| |
Hakkımızda:
Her ürünün uluslararası standartları karşılamasını sağlamak için gelişmiş üretim ekipmanlarımız ve sıkı bir kalite yönetim sistemimiz bulunmaktadır. Bunlar arasında, tek kafalı Sputtering kaplayıcımız özellikle oksijene duyarlı metal filmlerin buharlaştırılması için uygundur. İstikrarlı bir performansa sahiptir ve malzeme araştırmaları alanında yaygın olarak kullanılmaktadır. Ar-Ge ekibimiz, pazar talebini ve müşteri geri bildirimlerini bir araya getirerek daha doğru ve verimli çözümler sunarak yenilikler üretmeye devam etmektedir. Uzun yıllara dayanan sektör deneyimimiz ve teknik birikimimizle, sektörde iyi bir itibar oluşturmakla kalmadık, aynı zamanda birçok müşteriden yüksek beğeni topladık.
