Yüksek Vakumlu Magnetron Püskürtme Kaplama
1. Tek kafalı püskürtme kaplayıcının nihai vakumu 8.0X10-5Pa'ya ulaşabilir.
2. Tek kafalı püskürtme kaplayıcı, 1 buharlaştırma ısıtma teknesi, 2 ışın kaynaklı fırın istasyonu (1 ışın kaynaklı fırın standarttır), φ150 cam gözlem penceresine sahip 1 set akış ölçer (bir set argon gazı) ile donatılmıştır.
3. Tek kafalı püskürtme kaplayıcıyı aldıktan sonra, uzaktan rehberlik gibi kapsamlı satış sonrası hizmetleri de sağlayacağız.
- Shenyang Kejing
- Şenyang, Çin
- 10 iş günü
- 50 set
- bilgi
Yüksek vakumlu magnetron püskürtme kaplayıcısının tanıtımı:
VTC-1HD-ZF2 Yüksek vakumlu magnetron püskürtme kaplayıcı, tek hedefli magnetron püskürtme aleti içeren çok işlevli bir yüksek vakumlu kaplama ekipmanıdır. Yüksek vakumlu magnetron püskürtme kaplayıcı, tek veya çok katmanlı ferroelektrik filmler, iletken filmler, alaşımlı filmler, yarı iletken filmler, seramik filmler, dielektrik filmler, optik filmler, oksit filmler, sert filmler, politetrafloroetilen filmler vb. hazırlamak için kullanılabilir.
Magnetron plazma püskürtme kaplayıcının avantajları:
1. Magnetron plazma püskürtme kaplayıcı, özellikle oksijene duyarlı metal filmlerin (Ti, Al, Au vb.) buhar biriktirme işlemi için uygun olan bir buhar biriktirme ısıtma teknesi ile donatılmıştır. Magnetron plazma püskürtme kaplayıcının ısıtma teknesinin üzerinde dönebilen bir bölme, 2 ışın kaynağı fırın istasyonu (1 ışın kaynağı fırını standarttır). φ150 cam gözlem penceresine sahip 1 set akış ölçer (bir set argon gazı).
2. Magnetron plazma püskürtme kaplayıcının uygulama kapsamı: perovskit malzemelerin, iki boyutlu malzemelerin, fotovoltaik güneş pillerinin vb. cihaz hazırlanması.
3.3. Tek kafa güç girişli püskürtme kaplayıcı: AC220V/50Hz. Güç <3.5KW.
Magnetron plazma püskürtme kaplayıcının teknik parametreleri:
| Ürün adı | VTC-1HD-ZF2 Yüksek Vakumlu Magnetron Püskürtme Kaplama Cihazı |
| Ürün modeli | VTC-1HD-ZF2 |
| Ana parametreler | 1. Vakum odası: φ324X330 Ultimate vakum 8.0X10-5Pa (moleküler pompa sistemi) Sızıntı oranı: 2.0x10-10Pa.m3/s Malzeme 304 paslanmaz çelik kaynaklı, elektrokimyasal yüzey parlatma işlemi. Aktif kısım kauçuk conta halkasıyla, aktif olmayan kısım ise bakır conta halkasıyla kapatılmıştır. Güç aktarımında manyetik kaplin bağlantısı kullanılmaktadır. Vakum odası, manyetik kontrol hedef pozisyonuna, bir dizi buharlaştırma elektroduna (iki) ve 2 ışın kaynaklı fırın pozisyonuna (standart 1 ışın kaynaklı fırın) sahiptir. φ150 cam gözlem penceresi ve C35 flanş arayüzü bulunan bir set akış ölçer (bir set argon gazı) ayrılmıştır. |
2. Püskürtme hedef başlığı: 2 inç (φ50,8 mm) Çalışma vakumu: 10Pa~0.2Pa. Hedef malzeme kullanım oranı: >35% (standart 3mm bakır hedef, hedef yüzey vakumu 0,5Pa) MAKSİMUM güç: <240W (tamamen soğutulmuş) Yalıtım gerilimi: >2000V (1 500W DC güç kaynağı ile) | |
3. Direnç buharlaşması: Buharlaştırma çıkış voltajı: AC 0-8V sürekli ayarlanabilir. Buharlaşma akımını 200A ile sınırlayın. Buharlaşma gücünü 1,6 kW'ın altında tutun. Sıcaklık kontrol edilemez ve ölçülemez. | |
4. Işın kaynaklı fırın: Pota kapasitesi: 3CC. Isıtma sıcaklığı: oda sıcaklığı ila 800°C. Isıtma sıcaklığı ölçülebilir, ayarlanabilir ve kontrol edilebilir. Sıcaklık kontrol hassasiyeti: ±0,5°C. Standart olarak deflektörlü ve termokupllu kuvars pota. Güç kaynağı: 500W, 36V. | |
5. Örnekleme aşaması: φ120. Sıcaklık kontrolü: oda sıcaklığı - 500°C. Hız: 1-20rpm. Numune tablası manuel olarak yükseltilip alçaltılabilir, maksimum ayarlanabilir stroğu 50 mm'dir. | |
6. EQ-TM106-1 film kalınlığı ölçer. 1) Güç kaynağı: DC 5V (±10%), maksimum akım 400mA. 2) Frekans çözünürlüğü: ±0,03Hz. 3) Film kalınlığı çözünürlüğü: 0,0136Å (alüminyum). 4) Film kalınlığı doğruluğu: ±%0,5, özellikle sensör pozisyonu, malzeme gerilimi, sıcaklık ve yoğunluk gibi proses koşullarına bağlıdır. 5) Ölçüm hızı: 100ms-1s/zaman, ayarlanabilir. 6) Ölçüm aralığı: 500000Å (alüminyum). 7) Standart sensör kristali: 6MHz. 8) Bilgisayar arayüzü: RS-232/485 seri arayüzü (baud hızı 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400 ayarlanabilir, veri biti: 8, durdurma biti: 1, kontrol: yok) 9) Analog çıkış: 8 bit çözünürlük, PWM darbe genişliği modülasyon çıkışı (açık toplayıcı veya dahili 5V çıkış) 10) Çalışma ortamı: Sıcaklık 0-50℃, nem %5-85RH, yoğuşma yok. 11) Boyutlar: 90mm×50mm×18mm. | |
| 7. Ekipman standart olarak bir soğutucu (KJ5000 modeli) ile donatılmıştır. Müşterilerin kendi soğutucularını ve deiyonize su veya arıtılmış su sağlamaları gerekmektedir. | |
| 8. Tüm makinenin güç girişi: AC220V/50Hz. Güç <3.5KW. | |
9. Ürün özellikleri: Boyutlar: yaklaşık 1300mm×660mm×1200mm. Ağırlık: yaklaşık 160 kg. |
Hakkımızda:
Her ürünün uluslararası standartları karşıladığından emin olmak için gelişmiş üretim ekipmanlarımız ve sıkı bir kalite yönetim sistemimiz var. Bunlar arasında, tek kafalı Sputtering kaplayıcımız özellikle oksijene duyarlı metal filmleri buharlaştırmak için uygundur. İstikrarlı bir performansa sahiptir ve malzeme araştırmaları alanında yaygın olarak kullanılır. Ar-Ge ekibimiz, daha doğru ve verimli çözümler sunmak için pazar talebini ve müşteri geri bildirimlerini birleştirerek yenilik yapmaya devam ediyor. Uzun yıllara dayanan sektör deneyimimiz ve teknik birikimimizle, sektörde yalnızca iyi bir üne kavuşmakla kalmadık, aynı zamanda birçok müşteriden yüksek takdir kazandık.
