Yüksek Vakumlu Magnetron Püskürtme Kaplama Ekipmanı

Laboratuvar kaplama ekipmanlarının tanıtımı:

VTC-800G, bağımsız olarak tarafımızca geliştirilen küçük bir Magnetron püskürtme kaplama ekipmanıdır. Küçük kaplama ekipmanı, tek katmanlı veya çok katmanlı ferroelektrik filmler, iletken filmler, alaşımlı filmler, yarı iletken filmler, seramik filmler, dielektrik filmler, optik filmler, oksit filmler, sert filmler ve politetrafloroetilen filmlerin hazırlanmasında yaygın olarak kullanılır.

Küçük kaplama ekipmanları, çeşitli proses gereksinimlerini karşılamak için iletken olmayan malzemelerin RF güç püskürtmesini ve iletken malzemelerin DC güç püskürtmesini destekleyen çoklu hedefli bir tabanca sistemi ile donatılabilir.

Benzer ekipmanlarla karşılaştırıldığında, VTC-800G Küçük kaplama ekipmanı küçük boyutlu, kullanımı kolay ve uygulamada esnektir. İşlevsel ince film malzemelerinin laboratuvar hazırlığı için ideal bir seçimdir, özellikle katı elektrolitler ve OLED'ler gibi yeni malzemelerin araştırılması ve geliştirilmesi için uygundur.

Hassas kaplama ekipmanlarının temel özellikleri:

1. Küçük kaplama ekipmanları, iletken olmayan ve iletken hedef malzemelerin püskürtme kaplaması için kullanılan RF ve DC güç kaynaklarını destekleyen çoklu hedef tabancalarıyla donatılabilir ve hedef tabancaları gerektiğinde esnek bir şekilde değiştirilebilir;

2. Hassas kaplama ekipmanları çeşitli fonksiyonel filmlerin hazırlanmasına uygundur ve geniş bir uygulama yelpazesine sahiptir;

3. Hassas kaplama ekipmanı küçük boyutlu, kompakt yapıda, kullanımı kolay ve çeşitli laboratuvar ortamları için uygundur;

4. Hassas kaplama ekipmanı modüler bir tasarıma sahiptir ve vakum odası, pompa grubu ve güç kontrol sistemi ayrılmıştır ve gerçek ihtiyaçlara göre esnek bir şekilde birleştirilebilir;

5. Laboratuvar kaplama ekipmanları birden fazla güç kontrol yöntemini destekler: tek bir güç kaynağı birden fazla hedef tabancasını kontrol eder veya birden fazla güç kaynağı farklı proses gereksinimlerini karşılamak için hedef tabancalarını bağımsız olarak kontrol eder.

Hassas kaplama ekipmanlarının teknik parametreleri:

Ürün adı	Magnetron püskürtme kaplama ekipmanı
Ürün modeli	VTC-800G
Ana parametreler	1. Hazne yapısı: Silindirik üst kapak tasarımı, arka egzoz sistemi. 2. Nihai vakum: 6.0×10-5 Pa. 3. Vakum sızıntı oranı: 1 saat içinde ≤0,5 Pa. 4. Egzoz süresi: atmosferden 5.0×10-3 Pa'ya yaklaşık 30 dakika. 5. Vakum pompası grubu konfigürasyonu: mekanik pompa + moleküler pompa. 6. Örnek aşama parametreleri: · Boyut: Ø205 · Sıcaklık aralığı: oda sıcaklığı ~ 500℃, doğruluk ±1℃ · Dönme hızı: 5~20rpm (ayarlanabilir). 7. Önyargı fonksiyonu: isteğe bağlı (film kalitesini artırmak için kullanılır). 8. Gaz dolum sistemi: çift kanallı kütle akış ölçer (her biri argon/azot) 9. Hedef baş açısı: Hedef baş ile numune tablasının merkez ekseni arasındaki açı 34°'dir 10. Hedef başlığı sayısı: Standart olarak 2 (isteğe bağlı olarak 4'e kadar artırılabilir). 11. Hedef silah soğutma yöntemi: su soğutma 12. Hedef malzeme özellikleri: çap Ø3″, kalınlık 0,1~5mm (hedef malzemeye bağlı olarak)
	13. Magnetron püskürtme kaplama ekipmanının özellikleri: · Genel boyut: 700mm×1093mm×1380mm

Hakkımızda:

Firmamız uzun yıllardır film yapım alanında derinlemesine yer almaktadır ve mükemmel bir deneyime sahiptir. Aynı zamanda firmamız çeşitli ihtiyaçlarınızı karşılamak için farklı malzemelere uygun çeşitli ekipmanlara sahiptir. Ayrıca ekipmanın etkisini test etmenize yardımcı olabiliriz. Numuneler sağlayabilirsiniz ve ürünlerimizin etkisini daha sezgisel olarak görmenizi sağlamak için numuneler hazırlayacağız. Ürünlerimizi onaylarsanız, bunları satın alabilir ve işinizi daha sorunsuz bir şekilde yapabilirsiniz.