Yüksek Vakumlu Magnetron Püskürtme Aleti

Magnetron püskürtme ekipmanının tanıtımı:

VTC-600G yüksek vakumlu magnetron püskürtme kaplayıcı, tek katmanlı veya çok katmanlı ferroelektrik filmler, iletken filmler, alaşımlı filmler, yarı iletken filmler, seramik filmler, dielektrik filmler, optik filmler, oksit filmler, sert filmler, politetrafloroetilen filmler vb. hazırlamak için kullanılabilen yeni, bağımsız olarak geliştirilmiş bir kaplama ekipmanıdır. VTC-600G Magnetron püskürtme ekipmanı, birden fazla hedef tabancasıyla donatılabilir ve eşleşen RF güç kaynağı, iletken olmayan hedef malzemelerin püskürtme kaplaması için kullanılır ve eşleşen DC güç kaynağı, iletken malzemelerin püskürtme kaplaması için kullanılır. Benzer ekipmanlarla karşılaştırıldığında, Magnetron püskürtme ekipmanı yalnızca yaygın olarak kullanılmakla kalmaz, aynı zamanda küçük boyut ve kolay kullanım avantajlarına da sahiptir. Özellikle katı elektrolitler ve OLED'ler üzerinde laboratuvar araştırmaları için uygun olan malzeme filmlerinin laboratuvar hazırlanması için ideal bir ekipmandır.

Magnetron püskürtme ekipmanının temel özellikleri:

·Vakum magnetron püskürtme cihazı, birden fazla hedef tabancasıyla donatılabilir ve eşleşen RF güç kaynağı, iletken olmayan hedef malzemelerin püskürtme kaplaması için kullanılır ve eşleşen DC güç kaynağı, iletken malzemelerin püskürtme kaplaması için kullanılır (hedef tabancası, müşteri ihtiyaçlarına göre isteğe göre değiştirilebilir).

·Vakum magnetron püskürtme cihazı çeşitli ince filmler hazırlayabilir ve yaygın olarak kullanılır.

·Vakumlu magnetron püskürtme cihazı küçük boyutlu ve kullanımı kolaydır.

·Makinenin tamamı modüler bir tasarıma sahiptir ve vakum odası, vakum pompası grubu ve kontrol güç kaynağı, kullanıcıların gerçek ihtiyaçlarına göre ayarlanabilen bölünmüş tasarımlardır.

·Güç kaynağı kullanıcının gerçek ihtiyaçlarına göre seçilebilir. Bir güç kaynağı birden fazla hedef silahını kontrol edebilir veya birden fazla güç kaynağı tek bir hedef silahını kontrol edebilir.

Vakum magnetron püskürtme cihazının teknik parametreleri:

Ürün adı	VTC-600G Yüksek Vakumlu Magnetron Püskürtme Cihazı
Ürün modeli	VTC-600G
Ana parametreler	1. Yapı: masaüstü ön kapı yapısı, arka egzoz sistemi.
	2. Nihai vakum: 6.0X10-5Pa.
	3. Sızıntı oranı: 1h≤0.5Pa.
	4. Atmosferden 5.0X10-3'e egzoz süresi yaklaşık 20 dakikadır.
	5. Vakum pompası grubu: Mekanik pompa + moleküler pompa.
	6. Örnek aşaması: φ140, oda sıcaklığı -500℃, doğruluk ±1℃ (sıcaklık gerçek ihtiyaçlara göre artırılabilir) dönüş 5rpm-20rpm arasında ayarlanabilir. Daha yüksek kaliteli kaplama elde etmek için müşteri ihtiyaçlarına göre önyargı işlevi eklenebilir.
	7. Gaz dolum sistemi: 2 adet kütle akış ölçer (her biri Argon/azot).
	8. Hedef başlığı ile numune tablasının merkez ekseni arasındaki açı 34°'dir.
	9. Hedef kafalarının sayısı: 3 (birbirine 120°).
	10. Hedef silah soğutma yöntemi: su soğutma.
	11. Hedef malzeme boyutu: φ2″, kalınlık 0,1-5 mm (kalınlık farklı hedef malzemelere bağlı olarak değişir).
	12. Ürün özellikleri: · Boyutlar: Makinenin tam boyutu: 700mm×852mm×1529mm;

Magnetron püskürtme ekipmanının opsiyonel aksesuarları:

Garanti:

Ömür boyu destekle sınırlı bir yıl (yetersiz depolama koşulları nedeniyle paslanan parçalar hariç)

Lojistik:

Hakkımızda:

Kaplama makinelerinin araştırma, geliştirme ve üretimine odaklanan bir yüksek teknoloji şirketiyiz ve aynı zamanda sektörde lideriz. Ürünlerimizin her biri tasarımcılar tarafından dikkatlice tasarlanmış ve sıkı bir şekilde test edilmiştir ve ekipman performansı ve doğruluğu açısından yüksek bir seviyeye sahiptir. Sadece ürünün kendisine odaklanmakla kalmıyoruz, aynı zamanda teknolojik yeniliğe ve müşteri ilişkilerine de dikkat ediyoruz ve küresel müşterilere yüksek seviyeli deneysel aletler sağlamaya kararlıyız.