Alt Tabakaları ve Gofretleri Kaplamak İçin Üç Hedefli Magnetron Püskürtme Kaplayıcı
1. Eldiven kutulu ince film pil hazırlama sistemi üç hedef tabancasıyla donatılmıştır ve çeşitli hedef malzemelerinin püskürtme kaplaması için kullanılan bir dönüştürme anahtarı aracılığıyla herhangi bir hedef kafasına eşleşen bir rf güç kaynağı bağlanabilir (hedef tabancası müşteri ihtiyaçlarına göre herhangi bir zamanda değiştirilebilir).
2. Eldivenli ince film pil hazırlama sistemi, çeşitli ince filmler hazırlayabilir ve yaygın olarak kullanılır.
3. Eldiven bölmeli ince film pil hazırlama sistemi küçük boyutludur ve kullanımı oldukça kolaydır.
- Shenyang Kejing
- Şenyang, Çin
- 10 iş günü
- 50 set
- bilgi
Kompakt plazma püskürtme kaplayıcının tanıtımı:
Eldiven kutulu VGB-600-3HD İnce film pil hazırlama sistemi eldiven kutusunda deneysel çalışma için kullanılabilir ve tek katmanlı veya çok katmanlı ferroelektrik ince filmler, iletken ince filmler, alaşımlı ince filmler, yarı iletken ince filmler, seramik ince filmler, dielektrik ince filmler, optik ince filmler, oksit ince filmler, sert ince filmler, politetrafloroetilen ince filmler vb. hazırlamak için kullanılır. Kompakt plazma püskürtme kaplayıcı üç hedef tabancasıyla donatılmıştır ve eşleşen bir RF güç kaynağı, çeşitli hedef malzemelerin püskürtme kaplaması için kullanılan bir dönüştürme anahtarı aracılığıyla herhangi bir hedef kafasına bağlanabilir. Benzer ekipmanlarla karşılaştırıldığında, kompakt plazma püskürtme kaplayıcı sadece yaygın olarak kullanılmakla kalmaz, aynı zamanda küçük boyut ve kolay kullanım avantajlarına da sahiptir. Malzeme filmlerinin laboratuvar hazırlığı için ideal bir ekipmandır. Kompakt plazma püskürtme kaplayıcı, özellikle ince film piller, katı elektrolitler ve OLED'ler üzerindeki laboratuvar araştırmaları için uygundur. Sıradan magnetron püskürtme ile karşılaştırıldığında, Li hedefleri ve lityum bazlı malzeme hedefleri üzerindeki kaplama deneyleri için kullanılabilir. Yeni enerji sektöründe laboratuvar kaplama deneyleri için ideal bir ekipmandır.
Üç hedefli RF magnetron püskürtme kaplayıcının avantajları:
1.Üç hedefli RF magnetron püskürtme kaplayıcı modüler tasarıma sahiptir ve vakum odası, vakum pompası grubu ve kontrol güç kaynağı bölünebilir ve kullanıcıların gerçek ihtiyaçlarına göre ayarlanabilir.
2.Üç hedefli RF magnetron püskürtme kaplayıcı, kullanıcıların gerçek ihtiyaçlarına göre güç kaynağını seçebilir. Bir güç kaynağı birden fazla hedef silahını kontrol edebilir veya birden fazla güç kaynağı tek bir hedef silahını kontrol edebilir (isteğe bağlı).
3. Üç hedefli RF magnetron püskürtme kaplayıcısı eldiven kutusunda deneysel çalışma için kullanılabilir ve kaplama deneyleri için çeşitli tipte kolay oksitlenen hedef malzemeler değiştirilebilir.
Kompakt plazma püskürtme kaplayıcının teknik parametreleri：
| Ürün adı | VGB-600-3HD Kompakt Plazma Püskürtme Kaplayıcı |
| Ürün modeli | VGB-600-3HD |
| Ana parametreler | Üç hedefli magnetron püskürtme parçası: 1. Güç kaynağı voltajı: 220V 50Hz. 2. Toplam güç: 2.5KW. 3. Nihai vakum: < E-6mbar (Şirketimizin mekanik pompa ekipmanlarıyla kullanıldığında E-3mbar'a ulaşabilir). 4. Çalışma sıcaklığı: RT-500℃, doğruluk ±1℃ (sıcaklık gerçek ihtiyaçlara göre artırılabilir). 5. Hedef silahı sayısı: 3. 6. Hedef silah soğutma yöntemi: su soğutma. 7. Hedef boyutu: Ø2″, kalınlık 0,1mm-5mm (kalınlık farklı hedef materyallerine göre değişir). 8. Püskürtme gücü: 300W (RF)/500W (DC). 9. Numune taşıyıcı: Ø140mm. 10. Numune taşıma hızı: 1rpm-20rpm arasında ayarlanabilir. 11. Koruyucu gaz: Ar ve N2 gibi inert gazlar. 12. Giriş gaz yolu: Kütle akış ölçer 2 giriş yolunu kontrol eder, bir akış 100 SCCM'dir ve diğer akış 200 SCCM'dir. |
Gaşk kutusu parçası: 1. Güç kaynağı: tek fazlı AC110V-220V 50Hz/60Hz. 2. Gövde malzemesi: 304 paslanmaz çelik. 3. Eldiven bölmesi haznesi: 1220mm×760mm×900mm. 4. Ön aşama odası: 2 adet ön aşama odası bulunmaktadır, büyük ön aşama odası Ø360mm×600mm, küçük ön aşama odası ise Ø150mm×300mm'dir. 5. Oda ortamı: su içeriği <1ppm (20℃, 1atm), oksijen içeriği <1ppm (20℃, 1atm). 6. Çalışma gazı: N2, Ar, He gibi inert gazlar. 7. Kontrol gazı: Basınçlı hava veya inert gaz. 8. İndirgeme gazı: Çalışma gazı ve H2 karışımı (arıtma sisteminin sadece suyu giderme fonksiyonu varsa, indirgeme gazı çalışma gazı ile aynıdır). 9. Gaz arıtma sistemi: Alman BASF deoksidan malzemeler, Amerikan UOP su emici malzemeler, arıtma sistemi rejenerasyon sürecinin otomatik kontrolü, otomatik dehidrasyon ve deoksidasyon fonksiyonları, uzun süre su <1ppm ve oksijen <1ppm seviyesinde gaz saflığını koruyabilir. 10. Basınç kontrol sistemi: Kavite hava basıncı, ±1Pa kontrol hassasiyetinde PLC dokunmatik ekran ile otomatik olarak kontrol edilebilir ve ayrıca ayak pedalı ile manuel olarak da kontrol edilebilir. 11. Filtre sistemi: Giriş ve çıkış uçlarına 0,3 µm filtrasyon hassasiyetinde filtreler yerleştirilmiştir. 12. Kontrol sistemi: SIEMENS renkli dokunmatik ekran (6 inç), PLC kontrol sistemi, Çince ve İngilizce çift dilli değiştirilebilir; Su probu Amerikan GE markasını benimser, 0-1000ppm dokunmatik ekran, doğruluk 0.1ppm; Oksijen vericisi Amerikan AII markasını benimser, 0-1000ppm dokunmatik ekran, doğruluk 0.1ppm; Basınç sensörü Amerikan setra markasını benimser, -2500-2500Pa dokunmatik ekran, doğruluk ±1Pa; 13. Vakum pompası: İngiliz EDWARDS marka, pompalama hızı 8,4m3/h - 12m3/h. 14. Eldiven: Amerikan NORTH markalı bütil sentetik kauçuk. 15. Aydınlatma sistemi: Philips marka floresan tüp. | |
| Ürün özellikleri | Üç hedefli magnetron püskürtme parçası: 950mm×460mm×810mm. Eldiven kutusu kısmı: 2300mm×1500mm×1900mm. |
Üç hedefli RF magnetron püskürtme kaplayıcısının kalite taahhüdü:
Firmamız, tedarik edilen kompakt plazma püskürtme kaplayıcının yeni ve kullanılmamış olduğunu, sözleşmede öngörülen kalite, özellik ve performans gerekliliklerini tam olarak karşıladığını ve eldiven kutulu ince film pil hazırlama sistemimizin doğru kurulum, doğru kullanım ve bakım koşulları altında ve hizmet ömrü içerisinde normal şekilde çalışabileceğini garanti eder.
Garanti:
Bir yıllık sınırlı garanti, ömür boyu destek (uygunsuz depolama koşulları nedeniyle paslanan parçalar hariç)
Hizmetlerimiz:
Ürünlerimiz birçok müşteri tarafından mükemmel performansları, istikrarlı kaliteleri ve uzun vadeli dayanıklılıkları nedeniyle tanınmaktadır. Müşterilere ürün seçimi, kurulum ve devreye alma ve operasyon eğitimi gibi tam bir servis desteği yelpazesi sağlayabilen profesyonel bir teknik ekibimiz var. Kullanım sırasında hangi sorunlarla karşılaşırsanız karşılaşın, üretim hattınızın verimli ve istikrarlı bir şekilde çalışmasını sağlamak için size zamanında ve etkili çözümler sunmak için çabalayacağız.
Hakkımızda:
Kısa bir süre önce, bölgemiz Singapur, taşlama ve parlatma makinelerimizi, kaplama makinelerimizi ve diğer ürünlerimizi sergilediğimiz Asya Fotonik Fuarı'na (APE 2025) katıldı. Ürünler hakkında detaylı bilgi edindikten sonra, birçok müşteri ekipmanlarımızı övdü ve bizimle işbirliği yapma isteklerini dile getirdi.
