Yüksek Vakumlu Magnetron Plazma Püskürtme Kaplama Cihazı
1. Çift hedef magnetron püskürtme kaplayıcının giriş gücü 220V/50Hz'dir ve boşluğun iç çapı Ø300mm'dir.
2. Çift hedef magnetron püskürtme kaplayıcısının hedef tabancası soğutma yöntemi su soğutmayı benimser.
3. Çift hedefli magnetron püskürtme kaplayıcının gaz dolum sistemi 2 yollu kütle akış ölçer (1 yollu argon 100scc, 2 yollu argon 200scc) kullanır. Özel gazlar özelleştirilebilir.
- Shenyang Kejing
- Şenyang, Çin
- 10 iş günü
- 50 set
- bilgi
Çift kafalı magnetron püskürtme kaplayıcının tanıtımı:
VTC-600-2HD-1000 Çift kafa magnetron püskürtme kaplayıcı, firmamız tarafından yeni geliştirilen yüksek vakumlu bir kaplama ekipmanıdır. Tek katmanlı veya çok katmanlı ferroelektrik filmler, iletken filmler, alaşımlı filmler, yarı iletken filmler, seramik filmler, dielektrik filmler, optik filmler, oksit filmler, sert filmler, politetrafloroetilen filmler vb. hazırlamak için kullanılabilir. Çift kafa magnetron püskürtme kaplayıcı, iki hedef tabancası ve iki güç kaynağı ile donatılmıştır, bir RF güç kaynağı iletken olmayan malzemelerin püskürtme kaplaması için kullanılır ve bir DC güç kaynağı iletken malzemelerin püskürtme kaplaması için kullanılır. Çift kafa magnetron püskürtme kaplayıcı, ferromanyetik malzemelerin püskürtme kaplaması için güçlü manyetik hedeflerle donatılabilir. Benzer ekipmanlarla karşılaştırıldığında, çift kafa magnetron püskürtme kaplayıcı küçük boyut ve kolay kullanım avantajlarına ve kullanılabilen çok çeşitli malzemelere sahiptir. Laboratuvarda çeşitli malzeme filmleri hazırlamak için ideal bir ekipmandır.
Çift kafalı magnetron plazma püskürtme kaplayıcının avantajları:
1. Çift kafa magnetron plazma püskürtme kaplayıcı, biri iletken olmayan hedef malzemelerin püskürtme kaplaması için bir RF güç kaynağına, diğeri iletken malzemelerin püskürtme kaplaması için bir DC güç kaynağına sahip iki hedef tabancasıyla donatılmıştır.
2. Çift kafa magnetron plazma püskürtme kaplayıcısı çeşitli ince filmler hazırlayabilir ve geniş bir uygulama alanına sahiptir.
3. Çift kafalı magnetron plazma püskürtme kaplayıcısı küçük boyutludur ve kullanımı çok kolaydır.
Çift hedefli magnetron püskürtme kaplayıcının teknik parametreleri：
| Ürün adı | VTC-600-2HD-1000 Çift Kafa Magnetron Püskürtme Kaplama Cihazı |
| Ürün modeli | VTC-600-2HD-1000 |
| Kurulum koşulları | Bu ekipmanın 25℃±15℃ sıcaklıkta ve %55Rh±10%Rh nem oranında kullanılması gerekmektedir. 1. Su: Ekipman, kendi kendini dolaşan bir soğutma suyu makinesiyle donatılmıştır (saf su veya deiyonize su ile doldurulmuştur) 2. Elektrik: AC220V 50Hz, iyi topraklanmış olmalıdır. 3. Gaz: Ekipman haznesinin argonla doldurulması gerekiyor (%99,99'un üzerinde saflık) ve kendi argon gazı silindirinizi (Ø6mm çift ferül konnektörlü) ve basınç düşürme vananızı hazırlamanız gerekiyor. 4. Çalışma tezgahı: 1500mm×600mm×700mm ebatlarında, 200kg üzeri yük taşıma kapasitesine sahiptir. 5. Havalandırma cihazı: gereklidir. |
| Ana parametreler | 1. Giriş gücü: 220V/50Hz. 2. Püskürtme hedeflerinin sayısı: 2. 3. Haznenin iç çapı: Ø300mm. 4. Hedef silahın soğutma yöntemi: su soğutma. 5. Nihai vakum derecesi: 9.0x10-4Pa. 6. Vakum odası özellikleri: Φ300×330 mm. 7. Vakum sistemi: VRD-16 mekanik pompa FF-100/150 turbomoleküler pompa. 8. Vakumun tekrar sağlanması: Sistem atmosferden 5,0E-3pa≤30 dk'ya kadar pompalanır (sistem kısa bir süre atmosfere maruz bırakılır). 9. Şişirme sistemi: 2 yollu kütle akış ölçer (1 yollu argon 100scc, 2 yollu argon 200scc) Özel gazlar özelleştirilebilir. 10. Püskürtme hedefi özellikleri: Φ2", kalınlık 0,1-5 mm (kalınlık farklı hedef malzemelerine bağlı olarak değişir). 11. Numune aşaması: Φ140mm/döndürülebilir (1-20rpm)/ısıtılabilir (oda sıcaklığı-1000℃). |
| Ürün özellikleri | Ana bilgisayar boyutu: genişlik 900mm × derinlik 650mm × yükseklik 1100mm |
Hakkımızda:
Ürün fabrikadan çıkmadan önce, personelimiz ürünün doğruluğunu ve kararlılığını sağlamak için kapsamlı testler yapacaktır. Aynı zamanda, profesyonel bir satış sonrası servis ekibimiz de bulunmaktadır. Ürünle ilgili herhangi bir sorunuz varsa, ekibimiz size zamanında cevap verecek ve böylece ekipmanınız uzun süre kararlı bir şekilde çalışabilecektir.
