Tek Kafalı Yüksek Vakumlu Magnetron Plazma Püskürtme Kaplayıcı

VTC-600-1HD Tek Kafalı Magnetron Püskürtme Kaplama Cihazı, firmamız tarafından yeni geliştirilen yüksek vakumlu bir kaplama ekipmanıdır ve tek katmanlı veya çok katmanlı ferroelektrik film, iletken film, alaşımlı film, yarı iletken film, seramik filmler, dielektrik film, optik film, oksit film, sert film, PTFE film vb. hazırlamak için kullanılır.
VTC-600-1HD tek kafalı magnetron püskürtme kaplayıcı, güçlü manyetik hedef veya zayıf manyetik hedef seçebilen bir hedef tabancasıyla donatılmıştır.

Marka: Shenyang Kejing
Ürünün menşei: Shenyang, Çin
Teslimat süresi: 22 iş günü
arz kapasitesi: 50 set

bilgi

Ürün Tanıtımı

VTC-600-1HD Tek Hedefli Magnetron Püskürtme Sistemi, şirketimiz tarafından tasarlanıp üretilen yeni geliştirilmiş bir yüksek vakumlu kaplama cihazıdır. Araştırma kurumları ve laboratuvarların çok çeşitli ince filmler hazırlaması için özel olarak tasarlanmıştır. Sistem, ferroelektrik filmler, iletken filmler, alaşımlı filmler, yarı iletken filmler, seramik filmler, dielektrik filmler, optik filmler, oksit filmler, sert kaplamalar ve PTFE filmler gibi tek katmanlı veya çok katmanlı filmlerin üretimi için uygundur.

VTC-600-1HD, uygulamaya bağlı olarak güçlü manyetik hedef veya zayıf manyetik hedef ile yapılandırılabilen bir magnetron püskürtme tabancasıyla donatılmıştır:

· Zayıf manyetik hedef, manyetik olmayan malzemelerin püskürtülmesi için uygundur.
· Ferromanyetik malzemelerin etkili bir şekilde püskürtülmesi için güçlü manyetik hedef tasarlanmıştır.

Yüksek vakum odası ve kararlı güç kontrol sistemiyle VTC-600-1HD, mükemmel film homojenliği ve yapışması sağlar. Benzer ekipmanlarla karşılaştırıldığında kompakt tasarımı, kolay kullanımı ve geniş malzeme uyumluluğu ile laboratuvar ince film biriktirme ve ileri malzeme araştırmaları için ideal bir seçimdir.

Ana Özellikler

1. Bir adet hedef tabancası ile donatılmış olup, iletken olmayan malzemelerin sputter kaplaması için bir adet RF güç kaynağı veya iletken malzemelerin sputter kaplaması için bir adet DC güç kaynağı kullanılır.

2. Çok çeşitli uygulama alanlarına sahip çeşitli ince filmler hazırlanabilir.

3. Küçük boyutlu ve kullanımı kolay

Tteknik Parametreler

Ürün Adı	VTC-600-1HD Tek Kafalı Magnetron Püskürtme Kaplayıcı
Ürün Modeli	VTC-600-1HD
Kurulum Koşulları	Bu ekipmanın 25℃±15℃ sıcaklıkta ve %55Rh±10%Rh nem oranında kullanılması gerekmektedir. 1. Su: Cihaz, kendi kendini dolaşan bir su soğutucusuyla donatılmıştır (saf su veya deiyonize su ile doldurulur) 2. Elektrik: AC220V 50Hz, iyi bir topraklama olmalı 3. gaz: Ekipman haznesinin argon gazıyla (saflığı %99,99 veya daha fazla) doldurulması ve argon gazı silindirlerinin (Ø6mm çift ferüllü bağlantılara sahip) ve basınç düşürme valfinin kullanıcılar tarafından sağlanması gerekmektedir. 4. Çalışma tezgahı: 1500mm×600mm×700mm boyutlarında, 200 kg'dan fazla taşıma kapasitesine sahip 5. Havalandırma cihazı: gerekli
Ana Parametreler (Şartname)	1. Güç kaynağı voltajı: 220V 50Hz 2. Güç: <1kW (vakum pompası hariç) 3. Haznenin iç çapı: Ø300mm 4. Vakum derecesinin sınırı: 9.0×10^-4Kuyu 5. Numune aşamasının ısıtma sıcaklığı: RT-500℃, doğruluk ±1℃ (Sıcaklık gerçek ihtiyaçlara göre artırılabilir.) 6. Hedef silahı sayısı: 1 adet (diğer miktarlar isteğe bağlıdır) 7. Hedef silahın soğutma yöntemi: su soğutması 8. Hedef malzemenin boyutu: Ø2″, kalınlık 0,1-5 mm (farklı hedef malzemeler nedeniyle farklı kalınlıklar) 9. DC püskürtme gücü: 500W; RF püskürtme gücü: 300W (Hedef güç kaynağının türü isteğe bağlıdır: bir DC güç kaynağı veya bir RF güç kaynağı.) 10. Numune aşaması: Ø140mm, daha yüksek kalitede kaplama elde etmek için müşteri gereksinimlerine göre opsiyonel önyargı gerilimi fonksiyonu kurulabilir. 11. Örnek aşamasının hızı: 1rpm-20rpm arasında ayarlanabilir 12. Çalışma gazı: Ar ve diğer inert gazlar 13. Emme hava yolu: Kütle akış ölçer 2 hava emme yolunu kontrol eder, biri 100SCCM, diğeri 200SCCM'dir.
Ürün Boyutu ve Ağırlığı	1. ana makine boyutu: 500mm×560mm×660mm 2. Genel boyutlar: 1300mm×660mm×1200mm 3. Ağırlık: 160 kg 4. Vakum odası boyutu: φ300×300mm

Standart Aksesuarlar

HAYIR.	İsim	Miktar	Görüntü
1	DC güç kontrol sistemi (isteğe bağlı)	1 set	-
2	RF güç kontrol sistemi (isteğe bağlı)	1 set	-
3	Su sebili	1 adet	-
4	Polyester PU boru (Ø6mm)	4m	-

İsteğe Bağlı Aksesuarlar

HAYIR.	İsim	Fonksiyon Kategorisi	Görüntü
1	Altın, indiyum, gümüş, platin vb. gibi çeşitli hedef malzemeler.	isteğe bağlı	-
2	Ferromanyetik malzemelerin püskürtülmesi için isteğe bağlı güçlü manyetik hedef	isteğe bağlı	-
3	Film kalınlığı izleme sistemi	isteğe bağlı	-
4	moleküler pompa (Almanya'dan ithal)	isteğe bağlı	-