3 Püskürtme Kaynağı ve Eldiven Kutusu ile Plazma Püskürtme Kaplayıcı
VGB-600-3HD İnce Film Pil Hazırlama Sistemi, eldivenli bir ortamda deneysel işlemler gerçekleştirebilir ve tek katmanlı veya çok katmanlı ferroelektrik film, iletken film, alaşımlı film, yarı iletken film, seramik film, dielektrik film, optik film, oksit film, sert film, PTFE film vb. hazırlamak için kullanılır. Sistem, çeşitli hedef malzemelerin püskürtmeli kaplanması için üç hedef tabancası ve bir RF güç kaynağı ile donatılmıştır. RF güç kaynağı, bir transfer anahtarı ile herhangi bir hedef başlığına bağlanabilir.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Çin
- 44 iş günü
- 50 set
- bilgi
Ürün Tanıtımı
TheVGB-600-3HD İnce Film Pil Biriktirme Sistemieldiven kutusu içinde kullanılmak üzere tasarlanmıştır ve ferroelektrik filmler, iletken filmler, alaşımlı filmler, yarı iletken filmler, seramik filmler, dielektrik filmler, optik filmler, oksit filmler, sert kaplamalar ve PTFE filmler gibi tek katmanlı veya çok katmanlı ince filmlerin hazırlanmasına olanak sağlar.
Bu sistem şu şekilde donatılmıştır:üç püskürtme tabancası, biriyleRF güç kaynağıTransfer anahtarı aracılığıyla üç hedeften herhangi birine geçirilebilen, farklı hedef malzemelerin esnek bir şekilde püskürtülmesine olanak sağlayan bir sistemdir.
Benzer ekipmanlarla karşılaştırıldığında, VGB-600-3HD şunları sunar:daha geniş uygulama çok yönlülüğü,kompakt yapı, Vekolay kullanım, bunu birlaboratuvar ince film hazırlama için ideal cihazÖzellikle şunlar için uygundur:ince film piller, katı hal elektrolitleri ve OLED malzemeleri üzerine araştırmalar.
Geleneksel magnetron püskürtme sistemlerinin aksine, bu model püskürtmeyi şu şekilde destekler:lityum ve lityum bazlı hedef malzemeler, onu tercih edilen bir çözüm haline getiriyoryeni enerji laboratuvarlarında ince film kaplama deneyleri.
Ana Özellikler
1. Sistem, çeşitli hedef malzemelerin püskürtme kaplaması için üç hedef tabancası ve bir RF güç kaynağı ile donatılmıştır. RF güç kaynağı, bir transfer anahtarı aracılığıyla herhangi bir hedef başlığına bağlanabilir. (Hedef tabancası müşteri ihtiyaçlarına göre değiştirilebilir).
2. Çok çeşitli uygulama alanlarına sahip çeşitli ince filmler hazırlanabilir.
3. Küçük boyutlu ve kullanımı kolay
4. Tüm makinenin modüler tasarımı; vakum odası, vakum pompası grubu ve kontrol güç kaynağının ayrı/bölünmüş tip tasarımı, kullanıcıların gerçek ihtiyaçlarına göre ayarlanabilir. (isteğe bağlı)
5. Güç kaynağı, kullanıcının gerçek ihtiyaçlarına göre seçilebilir. Tek bir güç kaynağı birden fazla hedef silahını kontrol edebilir veya birden fazla güç kaynağı tek bir hedef silahını kontrol edebilir.
6. Deneysel işlem eldivenli kutuda gerçekleştirilebilir ve kaplama deneyleri için çeşitli kolay oksitlenen hedefler değiştirilebilir.
Tteknik Parametreler
Ürün Adı | VGB-600-3HD İnce Film Pil Hazırlama Sistemi |
Ürün Modeli | VGB-600-3HD |
Ana Parametreler (Şartname) | Üç başlı magnetron püskürtme parçası: 1. Güç kaynağı voltajı: 220V 50Hz 2. Toplam güç: 2,5 kW 3. Vakum derecesi sınırı: E-6mbar (Firmamızın mekanik pompa ekipmanlarıyla kullanıldığında E-3mbar'a ulaşılabilir) 4. Isıtma sıcaklığı: RT-500℃, doğruluk ±1℃ (Sıcaklık gerçek ihtiyaçlara göre artırılabilir.) 5. Hedef silahı sayısı: 3 adet 6. Hedef silahın soğutma yöntemi: su soğutma 7. Hedef malzemenin boyutu: Ø2″, kalınlık 0,1-5 mm (farklı hedef malzemeler nedeniyle farklı kalınlıklar) 8. Püskürtme güç kaynağı: 300W (RF)/500W (DC) 9. Numune aşaması: Ø140mm 10. Örnek aşamasının hızı: 1 rpm ile 20 rpm arasında ayarlanabilir 11. Çalışma gazı: Ar, N2ve diğer inert gazlar 12. Emme hava yolu: Kütle akış ölçer 2 hava emme yolunu kontrol eder, biri 100SCCM, diğeri 200SCCM'dir. Eldiven kutusu parçası: 1. Güç kaynağı: tek fazlı AC110V-220V 50Hz/60Hz 2. Gövde malzemesi: 304 paslanmaz çelik 3. Eldiven bölmesi: 1220mm×760mm×900mm 4. Ön bölme: 2 adet ön bölme bulunmaktadır, büyük ön bölme Ø360mm×600mm, küçük ön bölme ise Ø150mm×300mm boyutlarındadır. 5. Oda ortamı: su içeriği <1ppm (20℃, 1atm), oksijen içeriği <1ppm (20℃, 1atm) 6. Çalışma gazı: N2, Ar, He ve diğer inert gazlar 7. Kontrol gazı: basınçlı hava veya inert gaz 8. İndirgeyici gaz: çalışma gazı ve H karışımı2 (Eğer arıtma sistemi sadece suyu uzaklaştırma fonksiyonuna sahipse, indirgeyici gaz çalışma gazı ile aynıdır.) 9. Gaz arıtma sistemi: Alman BASF deoksidan malzeme, Amerikan UOP yüksek verimli su emici malzeme, arıtma sisteminin rejenerasyon sürecinin otomatik kontrolü, otomatik su ve oksijen giderme fonksiyonları, uzun vadede gaz saflığını (su <1ppm ve oksijen <1ppm seviyesinde) sürekli olarak koruyabilme yeteneği 10. Basınç kontrol sistemi: Haznenin hava basıncı PLC dokunmatik ekran ile otomatik olarak kontrol edilebilir, kontrol hassasiyeti ±1Pa'dır ve ayrıca ayak pedalı ile manuel olarak da kontrol edilebilir. 11. Filtrasyon sistemi: Giriş ve çıkış uçlarına filtreler takılmış olup, filtrasyon hassasiyeti 0,3 µm’dir. 12. Kontrol sistemi: SIEMENS renkli dokunmatik ekran (6 inç), PLC kontrol sistemi, Çince ve İngilizce çift dilli anahtarlama * Su probu Amerikan GE marka olup, 0-1000ppm dokunmatik ekranlı ve 0,1ppm hassasiyetlidir. * Oksijen vericisi Amerikan AII marka olup, 0-1000ppm dokunmatik ekran ve 0,1ppm hassasiyete sahiptir. * Basınç sensörü Amerikan Setra marka olup, -2500-2500Pa dokunmatik ekranlı ve ±1Pa hassasiyetlidir. 13. Vakum pompası: 8,4 m3/h-12 m pompalama hızına sahip İngiliz EDWARDS marka3/H 14. Eldivenler: American NORTH markası (bütil sentetik kauçuk) 15. Aydınlatma sistemi: Philips marka (floresan tüp) |
Ürün Boyutu | Üç başlı magnetron püskürtme parçası: 950mm×460mm×810mm Eldiven kutusu parçası: 2300mm×1500mm×1900mm |
Garanti
Ömür boyu destekle sınırlı bir yıl (yetersiz depolama koşulları nedeniyle paslanan parçalar hariç)
Lojistik
