Alt Tabakaları ve Gofretleri Kaplamak İçin Üç Hedefli Magnetron Püskürtme Kaplayıcı
1. Eldiven kutulu ince film pil hazırlama sistemi üç hedef tabancasıyla donatılmıştır ve çeşitli hedef malzemelerinin püskürtme kaplaması için kullanılan bir dönüştürme anahtarı aracılığıyla herhangi bir hedef kafasına eşleşen bir rf güç kaynağı bağlanabilir (hedef tabancası müşteri ihtiyaçlarına göre herhangi bir zamanda değiştirilebilir).
2. Eldivenli ince film pil hazırlama sistemi, çeşitli ince filmler hazırlayabilir ve yaygın olarak kullanılır.
3. Eldiven bölmeli ince film pil hazırlama sistemi küçük boyutludur ve kullanımı oldukça kolaydır.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Çin
- 10 iş günü
- 50 set
- bilgi
Kompakt plazma püskürtme kaplayıcısının tanıtımı:
Eldiven kutulu VGB-600-3HD ince film pil hazırlama sistemi, eldiven kutusunda deneysel işlemler için kullanılabilir ve tek katmanlı veya çok katmanlı ferroelektrik ince filmler, iletken ince filmler, alaşımlı ince filmler, yarı iletken ince filmler, seramik ince filmler, dielektrik ince filmler, optik ince filmler, oksit ince filmler, sert ince filmler, politetrafloroetilen ince filmler vb. hazırlamak için kullanılır. Kompakt plazma püskürtme kaplayıcı, üç hedef tabancasıyla donatılmıştır ve çeşitli hedef malzemelerin püskürtme kaplaması için kullanılan bir dönüştürme anahtarı aracılığıyla herhangi bir hedef kafasına uygun bir RF güç kaynağı bağlanabilir. Benzer ekipmanlarla karşılaştırıldığında, kompakt plazma püskürtme kaplayıcı yalnızca yaygın olarak kullanılmakla kalmaz, aynı zamanda küçük boyut ve kolay kullanım avantajlarına da sahiptir. Malzeme filmlerinin laboratuvarda hazırlanması için ideal bir ekipmandır. Kompakt plazma püskürtme kaplayıcı, özellikle ince film piller, katı elektrolitler ve OLED'ler üzerine laboratuvar araştırmaları için uygundur. Sıradan magnetron püskürtme ile karşılaştırıldığında, Li hedefler ve lityum bazlı malzeme hedefleri üzerinde kaplama deneyleri için kullanılabilir. Yeni enerji sektöründe laboratuvar kaplama deneyleri için ideal bir ekipmandır.
Üç hedefli RF magnetron püskürtme kaplayıcının avantajları:
1. Üç püskürtme hedefi ile donatılmış olan bir RF güç kaynağı, bir transfer anahtarı aracılığıyla herhangi bir hedef başlığına geçirilebilir ve bu sayede çeşitli hedef malzemelerin püskürtme biriktirilmesine olanak tanır (hedef tabancaları kullanıcı gereksinimlerine göre değiştirilebilir).
2. Çok çeşitli ince filmler hazırlama kabiliyetine sahip olup, geniş uygulama alanına sahiptir.
3. Kompakt boyut ve kolay kullanım.
4. Sistemin tamamı modüler bir tasarıma sahiptir; vakum odası, vakum pompalama ünitesi ve kontrol güç kaynağı bağımsız olarak ayrılmıştır ve bu da kullanıcı gereksinimlerine göre esnek bir yapılandırmaya olanak tanır.
5. Kullanıcılar gerçek ihtiyaçlarına göre güç kaynağı yapılandırmasını seçebilirler; birden fazla hedefi kontrol eden tek bir güç kaynağı veya her hedefi bağımsız olarak kontrol eden birden fazla güç kaynağı (isteğe bağlı).
6. Sistem, çeşitli oksidasyona duyarlı hedef malzemeler kullanılarak biriktirme için bir eldiven kutusu içerisinde çalıştırılabilir.
Kompakt plazma püskürtme kaplayıcının teknik parametreleri：
| Ürün adı | VGB-600-3HD Kompakt Plazma Püskürtme Kaplayıcı |
| Ürün modeli | VGB-600-3HD |
| Ana parametreler | Üç hedefli magnetron püskürtme parçası: 1. Güç kaynağı voltajı: 220V 50Hz. 2. Toplam güç: 2,5 kW. 3. Nihai vakum: < E-6mbar (Şirketimizin mekanik pompa ekipmanlarıyla kullanıldığında E-3mbar'a ulaşabilir). 4. Çalışma sıcaklığı: RT-500℃, doğruluk ±1℃ (sıcaklık gerçek ihtiyaçlara göre artırılabilir). 5. Hedef silahı sayısı: 3. 6. Hedef silah soğutma yöntemi: su soğutma. 7. Hedef boyutu: Ø2″, kalınlık 0,1mm-5mm (kalınlık farklı hedef malzemelere bağlı olarak değişiklik gösterebilir). 8. Püskürtme gücü: 300W (RF)/500W (DC). 9. Numune taşıyıcı: Ø140mm. 10. Numune taşıma hızı: 1rpm-20rpm arasında ayarlanabilir. 11. Koruyucu gaz: Ar ve N gibi inert gazlar2. 12. Giriş gaz yolu: Kütle akış ölçer 2 giriş yolunu kontrol eder, bir akış 100 SCCM, diğer akış ise 200 SCCM'dir. |
Gaşk kutusu parçası: 1. Güç kaynağı: tek fazlı AC110V-220V 50Hz/60Hz. 2. Gövde malzemesi: 304 paslanmaz çelik. 3. Eldiven bölmesi: 1220mm×760mm×900mm. 4. Ön aşama odası: 2 adet ön aşama odası vardır, büyük ön aşama odası Ø360mm×600mm, küçük ön aşama odası ise Ø150mm×300mm'dir. 5. Oda ortamı: su içeriği <1ppm (20℃, 1atm), oksijen içeriği <1ppm (20℃, 1atm). 6. Çalışma gazı: N gibi inert gaz2, Ar, He. 7. Kontrol gazı: basınçlı hava veya inert gaz. 8. İndirgeme gazı: çalışma gazı ve H karışımı2(Eğer arıtma sistemi sadece suyu uzaklaştırma fonksiyonuna sahipse, indirgeme gazı çalışma gazı ile aynıdır). 9. Gaz arıtma sistemi: Alman BASF deoksidan malzemeleri, Amerikan UOP su emici malzemeleri, arıtma sistemi rejenerasyon sürecinin otomatik kontrolü, otomatik dehidrasyon ve deoksidasyon fonksiyonları, uzun süre su <1ppm ve oksijen <1ppm gaz saflığını koruyabilir. 10. Basınç kontrol sistemi: Kavite hava basıncı, ±1Pa kontrol hassasiyetinde PLC dokunmatik ekran ile otomatik olarak kontrol edilebilir ve ayrıca ayak pedalı ile manuel olarak da kontrol edilebilir. 11. Filtre sistemi: Giriş ve çıkış uçlarına 0,3 µm filtrasyon hassasiyetinde filtreler yerleştirilmiştir. 12. Kontrol sistemi: SIEMENS renkli dokunmatik ekran (6 inç), PLC kontrol sistemi, Çince ve İngilizce çift dilli değiştirilebilir; Su probu Amerikan GE markasını benimser, 0-1000ppm dokunmatik ekran, doğruluk 0.1ppm; Oksijen vericisi Amerikan AII markasını benimser, 0-1000ppm dokunmatik ekran, doğruluk 0.1ppm; Basınç sensörü Amerikan setra markasını benimser, -2500-2500Pa dokunmatik ekran, doğruluk ±1Pa; 13. Vakum pompası: İngiliz EDWARDS marka, pompalama hızı 8,4 m3/h-12m3/H. 14. Eldiven: Amerikan NORTH marka butil sentetik kauçuk. 15. Aydınlatma sistemi: Philips marka floresan lamba. | |
| Ürün özellikleri | · Üç hedefli magnetron püskürtme parçası: 950mm×460mm×810mm. · Eldiven kutusu parçası: 2300mm×1500mm×1900mm. |
Üç hedefli RF magnetron püskürtme kaplayıcısının kalite taahhüdü:
Firmamız, tedarik edilen kompakt plazma püskürtme kaplayıcısının yeni ve kullanılmamış olduğunu, sözleşmede belirtilen kalite, özellik ve performans gerekliliklerini tam olarak karşıladığını ve eldiven kutulu ince film pil hazırlama sistemimizin doğru kurulum, doğru kullanım ve bakım koşulları altında ve hizmet ömrü içerisinde normal şekilde çalışabileceğini garanti eder.
Garanti:
Bir yıllık sınırlı garanti, ömür boyu destek (uygunsuz depolama koşulları nedeniyle paslanan parçalar hariç)
Hizmetlerimiz:
Ürünlerimiz, mükemmel performansları, istikrarlı kaliteleri ve uzun ömürlülükleriyle birçok müşteri tarafından takdir edilmektedir. Müşterilerimize ürün seçimi, kurulum ve devreye alma ve operasyon eğitimi gibi eksiksiz bir hizmet desteği yelpazesi sunabilen profesyonel bir teknik ekibimiz bulunmaktadır. Kullanım sırasında hangi sorunlarla karşılaşırsanız karşılaşın, üretim hattınızın verimli ve istikrarlı bir şekilde çalışmasını sağlamak için size zamanında ve etkili çözümler sunmak için elimizden geleni yapacağız.
Hakkımızda:
Kısa bir süre önce, Singapur bölgemiz Asya Fotonik Fuarı'na (APE 2025) katıldı ve burada taşlama ve parlatma makinelerimizi, kaplama makinelerimizi ve diğer ürünlerimizi sergiledik. Ürünlerimizi detaylı olarak inceledikten sonra, birçok müşteri ekipmanlarımızı övdü ve bizimle iş birliği yapmak istediklerini dile getirdi.
